噴霧熱分解による酸化すず配向膜の形成とその機能性の改善

1994 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 06650741
• Research Institution: Shizuoka University
• Principal Investigator: 金子 正治 静岡大学, 工学部, 教授 (30022023)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 村上 健司 静岡大学, 電子工学研究所, 講師 (30182091)
• Keywords: 噴霧熱分解法 / 酸化スズ薄膜 / 配向性 / 透明導電性 / 有機すず化合物

Research Abstract

本研究課題に対する初年度の取り組みはおおむね順調に推移しているが、しかし、当初の研究計画に加えていた中心金属(Sn)に種々の置換基を導入することが困難であり、いろいろ試みたにもかかわず、容易に成功させることができなかった。そこで、出発原料には従来用いてきたジブチルチンジアセテートとテトラブチルチンを主として用いることにして本研究を進めた。これら二つの化合物の熱分解過程は蒸気圧測定と質量分析を用いて解析された(I.Yagi etal.,J.Mater.Res.,1994)ので申請していたガスクロマトグラフィーの代わりに、より均質な成膜のために新しい噴霧熱分解装置を試作することにした。しかし、新規に設計・発注したこの超音波噴霧装置の作業条件を確定することができず、本年度の成膜は従来使用してきた二流体式アトマイザーを用いて進めることを余儀なくされた。これまでに高配向膜の形式と得られた膜の構造を成膜条件と関連付けることができ、来る第42回応物春季年会(1995.3,平塚)で「スプレー熱分解法による酸化スズ廃校基板の作製」の題目で発表予定である。また、これまでに得られた原料化合物と優先配向面の構造との関係について、結果と考察をまとめてJ.Am.Ceram.Soc.へ投稿済み(Title:Orientational Growth of Tin Oxide Thin Films on a Glass Substrate From Organotin Compounds by a Spray Pyrolysis Technique)である。今後は機能性の改善に果たすSbやFのド-ピングの役割に特に注目しながら高配向膜の電気的・光学的性質の測定を進めてその有用性を明らかにする予定がある。