キャリヤ注入型マイクロ光スイッチの作製とメカニズムの解明

1994 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 06750365
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 花泉 修 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (80183911)
• Keywords: MBE / InGaAsP / InGaAs / InAlAs / MQW / キャリア注入 / 屈折率変化

Research Abstract

(1)複素屈折率変化量測定用IIIVヘテロ構造サンプルの作製
現有のMBE装置で、IIIV族ヘテロ構造を作製した。λ_g=1.255μmのInGaAsPを持つサンプルはすでに保有しているので、新たにλ_g=1.3μm,1.55μmのサンプルを作製した。さらに、高効率の注入を行うために,InGaAs/InAlAs系MQWサンプルを作製した。
(2)円形埋め込み構造の実現
注入されたキャリヤを効率良く閉じ込めるために、円形埋め込み構造を実現した。これは、直径10-100μm程度のもので、エッチングで周囲を除去した後、現有のLPE装置を用いてInPで埋め込む。これまでの実験の結果、高効率な埋め込み構造が実現でき、キャリヤの閉じ込め効果も測定によって実証された。
(3)誤差の少ない複数屈折率変化測定方法の開発
光のマイクロブリッジを構成し、両光路の位相差から屈折率変化量を導くが、これまで非対称な光路であったため、波長のゆらぎが屈折率変化量の誤差となって現れていた。1/2波長板を挿入することでこの光路を対称とし、これによって測定誤差を大幅に減少させることができた。

Research Products

• [Publications] Osamu Hanaizumi: "Falrication of an expanded core bilier having MFD of 40μm preserving outer diameter" IEEE Phatonics Technalogy Letters. 6. 842-844 (1994)
• [Publications] 川上彰二郎: "ヴァーティカル・フォトニクス" 電子情報通信学会論文誌C-1. J77-C-1. 334-339 (1994)