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2006 Fiscal Year Annual Research Report

ソフト溶液プロセスによる高機能セラミックス薄膜

Research Project

Project/Area Number 06F06404
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

吉村 昌弘  東京工業大学, 応用セラミックス研究所, 教授

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) XU HaiYan  東京工業大学, 応用セラミックス研究所, 外国人特別研究員
Keywordsセラミックス / 膜 / コーティング / 金属ガラス / 酸化物 / 生体活性 / Fe_3O_4 / SiO_2
Research Abstract

本研究は環境調和型のセラミックス材料の作製法として提案されているソフト溶液プロセスによって、電磁気用フェライト、光学・SOFC用CeO_2関連固溶体、蛍光体、エレクトロニクス用ペロブスカイトなどの高機能薄膜やそのパターンを溶液中で直接作製する手法を開発するものである。そのために固体(基材)と溶液の界面をマイクロウェーブあるいは電気化学、光化学、レーザー光などによって励起して反応を促進させる方法を研究する。基材とセラミックス膜との選択、溶液の種類、励起法、温度、時間など実験上のパラメーターの最適化と得られた膜およびパターンの高機能化を目的としている。
本年度は特にSi金属およびFe金属ガラスを水熱電気化学法によって処理し、表面に生成する酸化物膜を解析した。その結果、Si基板では強アルカリ溶液中では著しい酸化と腐食が起こることが分かり、緻密なSiO_2膜が得にくいことも実証された。
一方、Fe基金属ガラスでは表面にSiO_2,Fe_3O_dなどの生体活性の酸化物膜が形成されることが示唆され、これらの金属ガラスが生体材料へも適用できる可能性が見出された。この結果は本年5月23〜25日の先端材料および金属ガラス・セラミックス接合の国際会議(STAC-JTMC)で発表予定である。

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Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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