1995 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロメカトロニクス・システムの製作プロセス統合に関する研究
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07044122
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
増沢 隆久 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60013215)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
川勝 英樹 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30224728)
平本 俊郎 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (20192718)
藤田 博之 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (90134642)
橋本 秀紀 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30183908)
原島 文雄 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60013116)
CAMON Henri フランス科学研究庁, LAAS研究所, 研究員
MOLLIER Pasc フランス科学研究庁, LOPMD研究所, 研究員
MINOTTI Part フランス科学研究庁, LMARC研究所, 研究員
GORECKI Chri フランス科学研究庁, LOPMD研究所, 研究員
PIERALLI Chr フランス科学研究庁, LOPMD研究所, 研究員
HAESE Nahtal フランス科学研究庁, IEMN研究所・兼リール大, 研究員 助教授
ROLLAND Paul フランス科学研究庁, IEMN研究所・マイクロ技術, グループ長
HAUDEN Danie フランス科学研究庁, LPMO研究所, 所長
JEANーJAEQUES ガニュパン フランス科学研究庁, 工学部門, 部長
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| Keywords | マイクロマシン / 微細加工 / 光学システム / 原子間力顕微鏡 / 半導体プロセス / 電解研磨 / マイクロマシニング / シリコンの塑性変形 |
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| Research Abstract |
電子回路のマイクロ化に対応する、機械機構部分の小型化が、焦眉の課題となっており、それを実現する技術を開発する必要がある。ここで、単に機構を小型化しただけでは、動作制御のための情報収集と処理が行えないので、センサや電子回路、機能素子も含めた集積化が要求される。しかし、異種の素子を作る技術が各々大きく異なっており、個別にしか適用できなかったため、統合的な製作法の確立が必須である。このため、本研究では、マイクロアクチュエータ電子回路、光素子、など全く異なった機能の素子から成るシステム(マイクロメカトロニクスシステム)を容易に実現できる統合的な製作法を検討している。
本年度は、製作法を具体的に検討するための対象として、微小光システム、走査マイクロプローブ顕微鏡(SPM)をとりあげ、その概念設計を行った。微小光システムについては、半導体レーザからの光を出力用の光ファイバーへなるべく低損失で結合するために、光軸合わせを行うマイクロ移動ステージを設計した。その製作法を検討した結果、半導体プロセスを中心とすることが望ましいが、3次元的な構造も作る必要があることが判った。このため、多結晶シリコン薄膜を望みの立体的形状に変形できるプロセス(通電加熱塑性変形法)を新たに開発した。走査マイクロプローブ顕微鏡(SPM)については、nmオーダの微小な振動プローブ(ナノカンチレバ-)と試料表面の間に働く力を測定する、極めて高感度の原子間力顕微鏡を設計した。この場合ナノカンチレバ-の製作法が最大の技術課題であるため、電解液の膜を用いて深針先端を電解研磨加工する方法を開発した。現在は、これらのシステム全体の統合的製作法を検討中である。
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[Publications] C.Gorecki,A.Chebbour,G.Tribillon,: "“Multifunction wavelength-shift interferometry:absolute distance and velocity measurements"," Congres SPIE,Varosive(Pologne). Juin. (1994)
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[Publications] D.Hauden,M.Hoummady,N.Tirole,B.Hivert,: "“Capteurs resonnants a ondes elastiques de surface"" L′Onde Electrique. vol.74.n°2. 43-47 (1994)
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[Publications] J.P.Goedgebuer,H.Porte,P.Mollier,: "“Coherence modulation and correlation of stochastic light fields"" J. Phys. III. vol.3. 1413-1433 (1993)
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[Publications] ドミニック・コラール,ミッシェル・ド・ラバシェルリ-,ムサ・ウマディ,ハネス・ブロイレル,藤田博之,平本俊郎,橋本秀紀,川勝英樹,増沢隆久: "フランス科学研究庁(CNRS)と東京大学生産技術研究所(IIS)のマイクロメカトロニクスに関する共同研究" 生産研究. vol.45 No.5. 244-249 (1994)
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[Publications] H.Fujita,T.Iizuka: "A Threaded Wobble Motor-A micro motor generating large linear displacement-" The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators(Transducers 95),Stockholm Sweden. vol.2. 408-411 (1995)
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[Publications] Yamato Fukuta,Terunobu Akiyama,Hiroyuki Fujita: "A Reshaping technology with Joule Heat for Three Dimensional Silicon Structures" The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators(TRANSDUCERS'95). vol.1. 174-177 (1995)
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[Publications] D.Kobayashi,H.Fujita: "Control of a Micro Tunneling Unit Under Atomic Force Proceedings of the 1995 IEEE/RSJ International Conference on" Intelligent Robots and Systems. vol.2. 218-223 (1995)
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[Publications] B.Kim,C.Bergaud,S.Konishi,T.Masuzawa,H.Fujita: "Fabrication of micro twin probe for dimensional mesurement of microholes" 平成8年電気学会全国大会論文集. (発表予定). (1996)
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[Publications] 福田和人、秋山照伸、藤田博之: "アクチュエータによる駆動と塑性変形を利用した3次元マイクロ構造の自己構成法" 平成8年電気学会全国大会論文集. (発表予定). (1996)
