1995 Fiscal Year Annual Research Report
超高圧電子顕微鏡による材料の原子レベル評価とナノプロセッシングの融合
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07305031
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
坂 公恭 名古屋大学, 工学部, 教授 (90023267)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山本 直紀 東京工業大学, 理学部, 助教授 (90108184)
前田 康二 東京大学, 工学部, 教授 (10107443)
石田 洋一 東京大学, 工学部, 教授 (60013108)
大貫 惣明 北海道大学, 工学部, 教授 (10142697)
高橋 平七郎 北海道大学, エネルギー先端工学研究センター, 教授 (80001337)
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| Keywords | 超高圧電子顕微鏡 / 原子レベル評価 / ナノプロセッシング / 高分解能動観察 / 局所元素分析 / 表面・界面 / ミキシング |
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| Research Abstract |
超高分解能観察 無機結晶材料における基本構造および微細構造を原子レベルで観察・解析する(堀内、山本)とともに、カーボンナノチューブの塑性変形機構を原子レベルで解明した(石田)。
局所元素分析 パラレルEELSとフォトダイオードアレイを用いた高効率、高速度STEM元素マッピング用検出器を開発した(日比野)。また、元素マッピングの高分解能化における問題点、特に試料の照射損傷の問題解決を試みた(小林)。HVEMの加速電圧が広い範囲で可変なことを利用して臨界電圧効果と菊池線交差法の組み合わせによる構造因子と温度因子の精密測定を行った(友清)。
高分解能動観察 まず、動観察用マルチビジョンシステムを開発し(佐藤)、相変態過程をリアルタイムで原子レベルで動的観察を行うための装置を開発した(平賀、坂)。この方法を用いて、結晶中の欠陥や正10角形相準結晶の規則-不規則変態を原子レベルで直接観察した(竹内、前田)。さらに、固体内反応における原子単位の統計的揺らぎ現象の検出と解析を行い、ナノプロセッシングの素過程となる揺らぎ現象を抽出し、解析する。また、中性子照射損傷構造の電子照射による同定も行った(桐谷)。
表面 走査トンネル顕微鏡の探針をTEMに組み込んで、電子線ビームと探針による原子レベルのプロセッシングを試みた(高柳)。
ミキシング HVEMの高エネルギー電子照射による化合物結晶の相分離の条件を実験的に明らかにした(森)。HVEMに連結したイオン加速器を用い金属、半導体、絶縁体の照射効果に対する格子励起と電子励起の相乗効果を明らかにする(木下、古屋)とともに、イオンミキシング法によりシリサイドの低温形成を試みた(大貫)。結晶/非結晶層状試料の電子線トモグラフィ立体観察法を確立(鷹岡)、異種物質界面をHVEM内電子照射し、数原子オーダーの組成変化を高分解能観察から検出した(高橋)。
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[Publications] Kaneko.Y,Saka.H et al: "Evidence for Suzuki effect in an Fe-Ni-Cr steel" Philosophical Magazine A. 71. 399-407 (1995)
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[Publications] A.Muroga,H.Saka: "Analysis of rolling contact fatiguel microstructure using focused in beam sputleving and TEM" Scripta Met.et Materialia. 33. 151-156 (1995)
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[Publications] H.Saka,G.Nagaya: "Plan-view transmission electron microscopy observation of a crack tip in Si" Philosophical Magazine Letters. 72. 251-255 (1995)
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[Publications] A.Mastumoto,H.Saka: "Effect of a superimposition of a normal stressi on the grild stiess of β-Ca to in direct shear" Philosophical Magazine A. 72. 1189-1199 (1995)
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[Publications] S.Tsuji,H.Saka et al: "Cross-soctional characterization of thin-fil transistors with TEM" J Vac Sci Techrol B. 13. 1313-1357 (1995)
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[Publications] T.Kamino,H.Saka et al: "Dynamic observation of in situ sintering of SiC crystals at new atomic resolutin" Materials Transactions,JIM. 36. 73-75 (1995)
