1996 Fiscal Year Annual Research Report
コヒーレントナノ電子ビーム回折を用いた半導体/金属界面の研究
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07455023
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Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
田中 信夫 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40126876)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
木塚 徳志 名古屋大学, 工学部, 助手 (10234303)
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| Keywords | コヒーレントナノ電子回折 / 半導体 / 全面界面 / PbTe / MgO界面 / 位相決定 |
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| Research Abstract |
第2年度目の平成8年度は、前年度実験とシュミレーションをおこなったPbTe/MgO2の重膜のコヒーレントナノ電子ビーム回折の研究をまとめ、学振主催の界面の研究に関する日仏セミナーで発表し、併せてJ.Inteface Scienceに投稿し印刷された。またこの研究は平成9年度米国で開かれる電子顕微鏡学会にも招待講演としてとりあげられ発表の予定である。またこの2重膜のコヒーレントナノ電子回折から2つの結晶の格子のズレを決める研究の、"実空間版"に相当する研究も行った。これは、高分解能電子顕微鏡像をコンピューターに読み込んだ後2次元のフーリエ変換を行い、それぞれの反射の位相を読み出すことによって、2つの格子の整合の様子を知る方法である。半導体の試料の面ではCdSe/CaF_2の複合膜を作製しその界面の様子を高分解能電子顕微鏡とナノ電子回折でしらべた。平成9年度は、これらの試料によって、コヒーレントナノ電子回折図形から結晶の構造因子の位相の決定の問題に取り組む予定である。
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[Publications] N.Tanaka et al.: "High-spatial vesolution analysis of interface by um-sized electron probe" Control of semiconductor interfaces. 10. 315-320 (1994)
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[Publications] 田中信夫ら: "コヒアレントナノビーム電子回折とその多層膜への応用" 日本金属学会誌. 34. 837-842 (1995)
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[Publications] N.Tanaka: "Coherent Convergent Beam Electron Diffraction of PbTe/MgO" Proc.I.C.E.M.3. 869-870 (1994)
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[Publications] N.Tanaka: "Coherent Convergent Beam Electron Diffraction for Lattice fitting" J.Interface Science. 4. 181-189 (1997)
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[Publications] 田中信夫: "電 薄膜作製ハンドブック中の「電子ビームによる分析」分担" NTS出版(株), 800 (1996)
