1995 Fiscal Year Annual Research Report

走査型電子顕微鏡内マイクロマニュファクチャリングの研究

Research Project

Project/Area Number	07455066
Research Category	Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
Research Institution	Kobe University
Principal Investigator	森脇俊道神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	社本英二神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146) 中井善一神戸大学, 工学部, 助教授 (90155656)
Keywords	走査型電子顕微鏡 / マイクロマニュファクチャリング / 超精密加工機 / 圧電素子 / Walking Drive / 精密送りテーブル / 楕円振動切削加工 / ナノテクノロジー
Research Abstract	平成7年度は、主として以下の2項目について検討を行った。 (1)走査型電子顕微鏡内マイクロマニュファクチャリング加工機の設計走査型電子顕微鏡内でマイクロマニュファクチャリングを実現するために、真空中で制御可能な、自由度の高い加工機の設計、開発を行った。具体的には、当研究室で開発した圧電素子を利用したWalking Drive XY-θ小型テーブルの設計、開発を行った。さらに、切り込み方向への位置決めを行う駆動軸を合わせ、4軸の小型超精密加工機械の設計を検討している。この小型加工機は電子顕微鏡内で加工箇所を観察可能なように十分な加工面積と、マイクロマニュファクチャリングを実現できるように、ナノメートル以下の高い位置決め精度を有するように設計してある。現在、設計・製作を終え、基礎的な性能検討を開始しようとしている。 (2)走査型電子顕微鏡内の楕円振動切削加工の検討マイクロマニュファクチャリングを実現するために、当研究室で開発した切削力の低減に効果のある楕円振動切削加工を取り上げ、走査型電子顕微鏡内での2次元切削による基礎検討を行った。特に、加工が困難とされているダイヤモンド工具による鉄系材料の加工を行い、通常の加工に比べ、1桁以上の低い切削力で微細な加工が可能であることを確認した。また、最適な加工を実現するために、楕円振動切削を特徴づける工具振動形状の制御の検討を詳細に行った。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Ultrasonic Vibration Cutting Applied to Ultraprecision Machining -A New Possibility for Ultraprecision Machining of Hard to Machine Materials -" International Progress in Precision Engineering, Proceedings of the 8th International Precision Engineering Seminar. 298-301
[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting" Annals of the CIRP. Vol. 44. 31-34
[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Experimental Analysisi of Ultraprecision Machining" International Journal of the Japan Society for Precision Engineering. Vol. 29. 287-290
[Publications] Yoshikazu Nakai: "Effect of Fiber Orientation on the Mode I Interlaminar Fatigue Crack Growth Behavior of CFRP Laminates" 7th International Conference on Mechanical Behavior of Materials. 261-262
[Publications] 中井善一: "走査型原子間力顕微鏡による疲労破壊の微視的観察" 日本機械学会関西支部第71期定時総会講演会・講演論文集. (掲載予定).
[Publications] 社本英二: "Walking Driveによる精密送り機構の開発-(第2報)速度制御法と超精密位置決めシステムの開発-" 精密工学会誌. Vol. 61. 1106-1110

1995 Fiscal Year Annual Research Report

走査型電子顕微鏡内マイクロマニュファクチャリングの研究

Principal Investigator

森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)

Research Products

[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting" Annals of the CIRP. Vol. 44. 31-34

[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Experimental Analysisi of Ultraprecision Machining" International Journal of the Japan Society for Precision Engineering. Vol. 29. 287-290

[Publications] Yoshikazu Nakai: "Effect of Fiber Orientation on the Mode I Interlaminar Fatigue Crack Growth Behavior of CFRP Laminates" 7th International Conference on Mechanical Behavior of Materials. 261-262

[Publications] 中井善一: "走査型原子間力顕微鏡による疲労破壊の微視的観察" 日本機械学会関西支部第71期定時総会講演会・講演論文集. (掲載予定).

[Publications] 社本英二: "Walking Driveによる精密送り機構の開発-(第2報)速度制御法と超精密位置決めシステムの開発-" 精密工学会誌. Vol. 61. 1106-1110

森脇俊道神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)