nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07455109
• Research Category: Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 高増 潔 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (70154896)
• Keywords: 三次元座標測定 / ナノメートル計測 / キャリブレーション / 熱応力解析

Research Abstract

アルミニウム製のテーブルの性能試験を行った.また,有限要素法により,ゼロデュア(熱膨脹係数の非常に小さいガラスセラミックス)やシリコンなどの新しい材料でテーブルを製作するための力解析と熱応力解析を行い,以下の実績が上げられた.
1.試作したアルミニウム製のテーブルをレーザ干渉測長機およびオプティカルフラットの測定によって評価し,真直度400nm,繰り返し精度40nmであることを確認した.
2.力解析では,十分小さな測定力のプローブを利用するば,ナノメートルオーダの変形量で測定できることを確認した.
3.ゼロデュアやシリコンなどの材料による有限要素法の解析により,熱平衡までの時間としては,テーブルの形状より熱伝導度の影響が大きいこと,熱応力の解析では,力解析に比べて1桁から2桁測定誤差が大きくなることが確認された.
今後は,これまでの研究成果を基に新しい材料によるテーブルの試作およびブローブシステムの試作を行い,ナノメートル分解能の三次元座標測定機の構成を目指す予定である.

Research Products

• [Publications] 洪 俊憙: "測定データから抽出した幾何バラメータによる加工工程の管理手法" 精密工学会誌. 61. 1710-1714 (1995)
• [Publications] 大澤尊光: "多値パターン投影による三次元形状測定" 精密工学会誌. 61. 1101-1105 (1995)
• [Publications] 高増 潔: "nano-CMMの研究開発" 機械と工具. 39. 28-32 (1995)
• [Publications] 高増 潔: "形状測定におけるソフトウェアの問題点" 精密工学会誌. 61. 1049-1053 (1995)
• [Publications] K.Takamasu: "Data Processing Method for Geometrical Forms with Form Deviations in Coordinate Metrology" Proc.4th CIRP Seminar Computer Aided Tolerancing. 301-311 (1995)