1996 Fiscal Year Annual Research Report
nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発
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07455109
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Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
高増 潔 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (70154896)
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| Keywords | 三次元座標測定 / ナノメール計測 / キャリブレーション / 熱応力解析 |
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| Research Abstract |
前年度のアルミニウム製のテーブルに対して,本年度は鉄製のテーブルを試作し性能試験を行った.また,前年度に開発したXテーブル,Yテブールに対して,Zテーブルの設計および有限要素法による解析を行った.この解析結果に基づきZテーブルを試作し性能評価を行った.以下の実績が上げられた.
1.試作した鉄製のテーブルをレーザ干渉測長機およびオプティカルフラットの測定によって評価し,真直度200nm,繰り返し精度30nmであることを確認した.
2.Zテーブルとして,永久磁石を用いた指示方法を開発した.また,この方法でナノメートルオーダの変形量で測定できることを有限要素法で確認した.
3.Zテーブルを試作し,レーザ干渉測長機および光スケールによる測定によって,真直度300nm,繰り返し精度50nmを達成した.
今後は,これまでの研究成果を基にさらに別の材料によるテーブルの試作およびプローブシステムの試作を行い,ナノメートル分解能の三次元座標測定機の構成を目指す予定である.
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[Publications] 高増潔: "座標計測における幾何偏差を含んだ形体間演算" 精密工学会誌. 62. 964-968 (1996)
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[Publications] 浅野秀光: "多値パターン投影による3次元形状測定(第2報)" 精密工学会誌. 62. 830-834 (1996)
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[Publications] K.Takamasu: "Basic Concepts of Nano-CMM" Proc.Iapan-China Bilateral Symposium. 155-158 (1996)
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[Publications] S.Osawa: "Profile Measurement by Combination Projection Method" Proc.Japan-China Bilateral Symposium. 207-221 (1996)
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[Publications] F.Kimura: "Computer-Aided Tolerancing" Chapman & Hall, 352 (1996)
