1995 Fiscal Year Annual Research Report
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07455136
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Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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| Research Institution | University of Yamanashi |
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Principal Investigator |
中川 恭彦 山梨大学, 工学部, 教授 (50006277)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
垣尾 省司 山梨大学, 工学部, 助手 (70242617)
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| Keywords | 弾性表面波 / 薄膜 / 胎教 / 位相格子 |
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| Research Abstract |
本年度は,屈折率及び膜厚の制御を目的に「弾性表面波アシストによる薄膜位相格子」について検討を加えた
1.位相格子の作成法:基板に,128°Y・X-LiNbO_3を用い,波長40μm,交差長3mm,電極の間隔5mmの励振電極で定在波を励起した。反応性スパッタリング法により薄膜を作成した。ターゲット材料としては純度99.99%の金属タンタル板を用い,雰囲気ガスは酸素とアルゴンの流量比を1:5とし高周波スパッタリングを15分間行った。入力電力は300W,雰囲気ガス圧は2.0Pa,SAW入力電圧は20Vである。
2.光プロービング法による測定:作成した薄膜の表面のリップルΔhと内部の屈折率Δnを測定するために光プロービング法を用いた。薄膜の周期的な摂動からのラマン・ナス回析による回析光強度比から、Δh/h=1.78%,Δn/n_0=5.89%となり大きな変化が確認された。
3.微分干渉顕微鏡による観察:位相格子の膜厚変動と屈折率変化の位相を調べるため,薄膜を微分干渉顕微鏡で観察した。この縞の周期は約20μmであり,励振した弾性表面波波長の丁度半分で,しかも弾性表面波ビームの伝搬路上だけに存在している。光の干渉縞の写真判定より、定在波の腹にあたる部分の膜厚が高いことが確認できた。このことから,定在波の腹に当たる部分は常に山であることが同定できた。
4.今後の課題
(1)屈折率の変化と膜厚の凹凸との関係を明らかにする。
(2)位相格子の生成には電界の影響が大きいと考えられるので,基板の種類を変えて,電界と位相格子の関係を明らかにする。
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[Publications] Y. Nakagawa: "Fabrication of Diffraction Grating Assisted by Surface Acoustic Wave.21GC01:Jpn. J. Appl. Phys." 5B. 2650-2652 (1995)
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[Publications] 中川恭彦: "圧電薄膜/基板構造の作成と弾性表面波デバイスへの応用" 超音波TECHNO. No.3. 41-44 (1995)
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[Publications] 中川恭彦: "弾性表面波アシストによる位相格子の作成" 電子情報通信学会技術報告. US94-77. 1-6 (1995)
