マイクロ電子ビームと2次元表示阻止型電子分析器を用いた局所表面解析装置の開発

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07554051
• Research Category: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 河野 省三 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (60133930)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 虻川 匡司 東北大学, 科学計測研究所, 助手 (20241581) ; 高桑 雄二 東北大学, 科学計測研究所, 助教授 (20154768)
• Keywords: マイクロ電子ビーム / オージェ電子回折 / 中速電子回折 / 2次元電子分析器 / 表面解析装置

Research Abstract

(1)かねてより製作中であった本研究用超高真空システムの組み立て調整を行った.
(2)一般設備費により購入が決定したマイクロ電子銃を(1)の超高真空システムに取り付け,動作テストを行った.
(3)CCDシステムの購入とそれを用いたμAED,μGBMEED測定ソフトの開発を行ったが,μAED測定におけるS/N比が問題となった.これに関しては,マイクロ電子銃からの電流値のモニタリングが必要であると考えられる.
(4)超高真空走査トンネル顕微鏡の購入と上記(1)への取り付けのための下準備を行った.
(5)2次元表示阻止型電子分析器を製作し上記(1)への取り付けと上記(3)を用いたμAED,μGBMEED測定の動作特性評価を行った.μGBMEED測定では概ね満足のゆく結果が得られたが,(3)で述べた如くμAED測定では問題点が残った.
(6)μAED,μGBMEED解析プログラムの開発とホログラフィー解析プログラムの開発は担当者の転出により進んでいない.