1996 Fiscal Year Annual Research Report
微小部品の機械的特性を評価するマイクロテスティング法の開発研究
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07555029
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| Section | 試験 |
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
尾田 十八 金沢大学, 工学部, 教授 (30019749)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
多加 充彦 石川工業試験場, 機械電子部, 研究員
門前 亮一 金沢大学, 工学部, 助教授 (20166466)
北川 和夫 金沢大学, 工学部, 教授 (30019757)
坂本 二郎 金沢大学, 工学部, 助手 (20205769)
山崎 光悦 金沢大学, 工学部, 教授 (70110608)
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| Keywords | マイクロテスティング / マイクロマシン / 電子デバイス / 引張試験 / 薄膜 / 有限要素法 / 逆解析 / 材料特性 |
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| Research Abstract |
前年度の成果をふまえ,次のような研究を実施した.
1.薄膜と基板からなる2層構造モデルで,基板部を引張することで,薄膜の弾性から塑性,破壊に至るまでの挙動を逆解析的に推定試験する方法を具体的な3タイプの試験片形状として提示した.
2.2の有効性を多層構造体解析用のFEMで3次元FEMを利用して,数値実験的に検討した.特に試験片形状の,変位測定部の形をその部分の応力勾配やひずみ勾配の少ないものとする方法を考えた.
3.2によって決定した試験片を引張試験出来る装置の試作を行った.それは顕微鏡下で引張試験出来るものとし,変位や破壊挙動を顕微鏡観察的に測定し,荷重はロードセルによって測定する方法のものである.この装置の有効性は通常の引張試験での性能と比較されて明らかにされた.
4.3の試作装置により,Cu薄膜で紙フェノールを基板とする試料を用い、2タイプの試験片を作製し,その引張試験を実施した.そして薄膜の弾性から塑性さらにヤング率の逆推定を行い,それらがバルク材の値とほぼ一致することを確認している.
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[Publications] 尾田十八: "引張試験を利用したマイクロテスティング法の開発(薄膜のヤング率と破断応力推定法)" 日本機械学会関西支部第71期定時総会講演会講演論文集. 964-1. 362-363 (1996)
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[Publications] 尾田十八: "電子デバイス/電子機器の簡易的応力解析法とその応用" 日本機械学会RC128研究分科会研究報告書. 73-94 (1996)
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[Publications] 尾田十八: "引張試験を利用したマイクロテスティング法の開発" 日本材料学会第11回トライボロジー委員会資料. 30-31 (1997)
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[Publications] 尾田十八: "引張試験を利用したマイクロテスティング法の開発(薄膜の応力-ひずみ挙動の推定法)" 日本機械学会関西支部第72期定時総会講演会. (1997)
