1996 Fiscal Year Annual Research Report
音響の周波数を利用して薄膜の厚さを測定する新しい方法の開発
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07555039
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| Research Institution | Niigata university |
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Principal Investigator |
一宮 亮一 新潟大学, 工学部, 教授 (10035595)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
坂本 秀一 新潟大学, 工学部, 助手 (40211932)
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| Keywords | 共鳴音 / 周波数 / 測定 / 厚さ / 薄膜 / 非接触 |
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| Research Abstract |
剛体と薄膜との間に適当な厚さの空気層を設けて薄膜の上部から音波を放射すると、薄膜と空気層が共振し、その共振周波数が膜の厚さによって変化する現象を利用して膜の厚さを測定する新しい方法を考案したので、これについて将来実用化出来るように実験を行った。 さらに薄膜のみならず薄い板についても実験を試みて、次のような結果を得ることができた。
*膜の上方に設置するマイクロホンの位置による共鳴周波数の変化はほとんど無く、膜の上方であれば影響がないことが明らかになった。
*膜の面密度により共鳴周波数が変化することは以前にポリエチレン膜についても実験しており、今回の実験においても、他の材質すなわち、塩化ビニール、アクリル、ナイロンについても同様の傾向が得られ、共鳴周波数を利用して広く膜の厚さが測定できることが明らかとなった。
*音源からの音響に広帯域のホワイトノイズを使用する実験と、正弦波の純音をスイ-プさせる実験では、共鳴周波数は同じ結果を得た。
*薄膜では音響出力の小さい音源でも利用できるが、膜が厚くなると音源の出力に配慮が必要になる。
*被測定物が板状になると、板と空気層の共鳴が発生し難くなり、板の厚さと共鳴周波数に薄膜のような比例関係が得られなくなる。そのため測定精度は悪く、厚くなると測定不可能になる。
*薄膜の場合にはこの方法で厚さを測定することの実用性が高まった。
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Research Products
(2 results)
