1996 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロマシニングによる密度・粘度測定用の振動型光ファイバセンサーの開発

Research Project

Project/Area Number	07555080
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Section	試験
Research Institution	Gifu National College of Technology
Principal Investigator	稲葉成基岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (30110183)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	羽根一博東北大学, 工学部, 教授 (50164893) 熊崎裕教岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 講師 (70270262)
Keywords	光熱効果 / 圧力センサー / 光ファイバ / マイクロマシン / 密度計 / 粘度計
Research Abstract	平成8年度は以下の項目について研究を実施した。 1.振動子の大きさを変え、サイズ効果に関する実験を行い、理論解析との比較を行った。振動子の長さが短いほど共振周波数が高くなり、感度が高くなる。一方、振動子の直径は、相対的な周波数変化率を考慮すると、あまり影響がない。研究成果はOpt.Rev.Vol.30,No.2,PP.135-138,1996およびT.IEE Japan,Vol.117-E,No.2,PP.105-108,1997.を参照されたい。 2.光カップラーを用いて例信用のレーザ光と振動検出用のレーザ光を重畳する光学系を構築し、振動検出の光学系の簡便化をはかった。 3.片持ち梁の先端に別の光ファイバーをおいて振動検出できることを確認した。片持ち梁の先端にミラーをおいて振動検出できることを確認し、一本の光ファイバーのみで振動検出することが可能になった。 5.片持ち梁の先端に光の反射膜を蒸着し、振動検出も一本の光ファイバーでできるシステムを製作し、この方法により共振の検出ができることを確認した。 6.共振周波数をコンピュータで自動追従するシステムを製作し、その動作を確認した。以上に付け加えて、密度、粘度以外の物理量として、温度計測、スパッタ薄膜の膜圧測定なども同様の手法で測定できることを明らかにした。

Research Products

(9 results)

All Other

All Publications (9 results)

[Publications] 熊崎裕教: "光ファイバのコアの光熱振動を利用した圧力センサー" 真空. 38・3. 176-179 (1995)
[Publications] S.Inaba: "Photothermal vidration of fiber core for vibrntion type sensor" JPN.J.Appl.Phys.J4.4P. 2018-2021 (1995)
[Publications] K,Hane: "Photothermal and Photoacoustic effcts in optical sensor" Tech.Digest,13th Sensor Symp.117-120 (1995)
[Publications] H.Kumazaki: "Photomechanical sensor using a photothermal vibration of an optical fiber in liquid" Ted.Digest.13th Sensor Symp.41-44 (1995)
[Publications] H.Kumazaki: "Temperature characteristics of vibration type sensor using micromachined optical fiber-tip" OPT.Rev.30・2. 135-138 (1996)
[Publications] H.Kumazaki: "Pressure dependence of resonance characteristics of the microcantilever fabricated from optical fiber" Vacuum. 47・6. 475-477 (1996)
[Publications] H.Kumazaki: "Optical sensor for deposition thickness using microcantilever fabricated from optical fiber" Proceed.11th Int.Conf.Opt.Fiber Sensor. 220-223 (1996)
[Publications] H.Kumazaki: "Deposition thickness sensor for ion spnttering apparatng" T.IEE.Japan. 117E・2. 105-108 (1997)
[Publications] 熊崎裕教: "膜厚測定のためのレーザ駆動ファイバコア振動子のサイズ効果" 真空. 40・3(印刷中). (1997)

1996 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロマシニングによる密度・粘度測定用の振動型光ファイバセンサーの開発

Principal Investigator

稲葉 成基 岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (30110183)

Research Products

[Publications] 熊崎裕教: "光ファイバのコアの光熱振動を利用した圧力センサー" 真空. 38・3. 176-179 (1995)

[Publications] S.Inaba: "Photothermal vidration of fiber core for vibrntion type sensor" JPN.J.Appl.Phys.J4.4P. 2018-2021 (1995)

[Publications] K,Hane: "Photothermal and Photoacoustic effcts in optical sensor" Tech.Digest,13th Sensor Symp.117-120 (1995)

[Publications] H.Kumazaki: "Photomechanical sensor using a photothermal vibration of an optical fiber in liquid" Ted.Digest.13th Sensor Symp.41-44 (1995)

[Publications] H.Kumazaki: "Temperature characteristics of vibration type sensor using micromachined optical fiber-tip" OPT.Rev.30・2. 135-138 (1996)

[Publications] H.Kumazaki: "Pressure dependence of resonance characteristics of the microcantilever fabricated from optical fiber" Vacuum. 47・6. 475-477 (1996)

[Publications] H.Kumazaki: "Optical sensor for deposition thickness using microcantilever fabricated from optical fiber" Proceed.11th Int.Conf.Opt.Fiber Sensor. 220-223 (1996)

[Publications] H.Kumazaki: "Deposition thickness sensor for ion spnttering apparatng" T.IEE.Japan. 117E・2. 105-108 (1997)

[Publications] 熊崎裕教: "膜厚測定のためのレーザ駆動ファイバコア振動子のサイズ効果" 真空. 40・3(印刷中). (1997)

稲葉成基岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (30110183)