新しい薄膜技術(エクリプス・レーザー堆積法)の樹立と超低損失光回路作製への応用

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555101
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: 小林 猛 大阪大学, 基礎工学部, 教授 (80153617)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山本 義弘 シャープ, エネルギー変換研究所, 課長(研究者) ; 富田 孝司 シャープ, エネルギー交換研究所, 所長(研究者) ; 牧 哲朗 大阪大学, 基礎工学部, 助手 (80273605) ; 藤井 龍彦 大阪大学, 基礎工業部, 助手 (40238530) ; 作田 健 大阪大学, 基礎工学部, 講師 (70221273)
• Keywords: PLD / レーザーアブレーション / 酸化物薄膜 / 結晶成長

Research Abstract

この研究期間にレーザーアブレーションの市場における利用度は益々増大して、酸化物薄膜の新しい作成技術として成熟に向かってきたようである。さて、本研究ではエクリプス・アブレーション法を提案し、その効果の確認、問題点の抽出と解決など、本格的なレーザーアブレーション技術の利用に対応した発展的な研究をおこなってきた。
通常のレーザーアブレーション技術の一つの問題である“ドロップレット"の発生を根底から解決するエクリプス・レーザーアブレーション法の利用を超伝導薄膜から多様な機能を持つ高分極材料、磁性材料、光材料に展開させて、とくに電気光学効果の大きな材料の高品質薄膜形成に適用してきた。成果は十分であった。
今年度の研究期間末において、エクリプス法自体がもつ問題の解決に当たり、さらに新しい方式であるエクリプス・エンジェル法の提案をした。この新しい方法は今後、レーザーアブレーションの基本的な構成法として発展していくものと期待している。

Research Products

• [Publications] T.Kobayashi: "Improved Laser Atlation Method(Eclipse Mettod)for Use to High Quality Thin Film Growth" European MRS(ドイツ・ストラ-スブルグ). (1996)
• [Publications] M.Tachiki: "Optical Characterigation of PLD Grown SrBiTiO Thin Films" Jpn.J.Appl.Phys.35(6A). L719-L721 (1996)
• [Publications] S.Tomohisa: "Morphological Study of YBaCuO Thin Films Grown by Excimer Laser Ablation Method" 電子情報通信学会英文誌. E97-C. 1264-1268 (1996)