UV/光電子法による超微粒子測定のための荷電装置の試作と評価

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555261
• Research Institution: Saitama University
• Principal Investigator: 坂本 和彦 埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (20111411)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 藤井 敏昭 (株)荏原総研, 流体研究所, チームリーダー
• Keywords: 超微粒子 / 外部光電効果 / 荷電 / 紫外線 / 負イオン

Research Abstract

1.光源一体型光電子・負イオン放出材の作成とその発生量の測定
石英ガラスまたは254nmのUVランプ上に透明導電性膜ITO/Auを蒸着させた光電子・負イオン放出材を作成し、紫外ランプ点灯時の外部光電効果による光電子・負イオン発生量を求めた。その結果、反射型(放出材の金属蒸着表面への照射)<透過型(その裏側からの照射)<光源一体型の順序で、より多くの光電子/負イオンを発生させられることが分かった。
2.交流型/直流型光源一体型荷電装置(光電子/負イオン発生装置)の試作
254nmのUVランプの表面にITO/Auを蒸着させ、光源/光電子/負イオン放出材一体型の荷電装置を新たに作成した。本装置を直流型として用いた超微粒子の荷電効率から考えて、透過型荷電装置(負イオン濃度は約10^6個/cm^3)に比較して、かなり多い負イオン濃度が得られていると推定された。
3.交流型/直流型光源一体型荷電装置の評価
交流型/直流型光源一体型荷電装置を試作し、直流では24nmと56nmの単分散NaCl超微粒子で荷電電圧、流速を変化させ、交流では56nmの単分散NaCl超微粒子で荷電電圧、流速、周波数を変化させ、装置の性能を荷電割合、通過割合、荷電通過割合により評価した。特に、超微粒子測定には、高い荷電割合とその高い通過割合、すなわち荷電された超微粒子の通過割合(荷電通過割合)が重要である。交流を用いた場合、56nmの超微粒子の荷電実験において、その荷電割合は減少したが、荷電通過割合は増加していた。よって、本装置の交流における有効性が確認された。

Research Products

• [Publications] 坂本和彦: "DMA中和器内でのSO_2粒子化に与えるO_3の影響" エアロゾル研究. 9(3). 印刷中 (1997)
• [Publications] Kazuhiko Sakamoto: "Creation of Super Cleaning by Simultaneous Removal of Gaseous and Fine Partides Using UV/Catalyst and UV/Photoelection System" Proceedings of the 7th International Conference on Indoor Air Quality. 4. 187-192 (1996)
• [Publications] Kazuhiko Sakamoto: "Development and Application of Removing Techniques for Indoor Trace Gaseous Pollutants Using Secondary Formation with UV Irradation and UV/Photoelectron Hethod" Proceedings of 13th International Symposium on Contamination Control. 236-242 (1996)
• [Publications] Toshiaki Fujii: "Surface Contamination by Clean Room Air" Procedings of the 5th International Symposium on Semitonductor Manufacturing. 317-320 (1996)
• [Publications] 藤井敏昭: "クリーンルーム環境における汚染物質の制御-UV/光電子法による超クリーン空間の創出-" エバラ時報. 173・10. 7-17 (1996)
• [Publications] 藤井敏昭: "UV/光電子法による局所空間の超清浄化<超清浄化空間の創出>" クリーンテクノロジー. 5・7. 63-67 (1995)