マイクロマシニング用超精密微細放電加工装置の試作研究

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555367
• Section: 試験
• Research Institution: Okayama University
• Principal Investigator: 宇野 義幸 岡山大学, 工学部, 教授 (20029341)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山田 嘉昭 (株)化繊ノズル製作所, 技術開発部長 ; 岡田 晃 岡山大学, 工学部, 助手 (60263612)
• Keywords: マイクロマシニング / 超精密微細加工 / 放電加工機 / 微細電極 / 異形形状 / 複雑多角形形状 / 位置決め / 角部アール

Research Abstract

本研究は通常の加工方法では不可能な超精密微細部品のマイクロマシニング用放電加工機を試作することを目的としている。
昨年度の研究で、加工機本体はほぼ出来上がったので、本年度は加工機のテストを兼ねて複雑、微細形状の放電加工を試みた。テストにあたって最も苦心したことは、微細加工電極の作成である。昨年度は機上でブロックと電極間で放電を行なうことによって成形する一般的な方法を試みたが、かなり熟練を要することが分かったので、本年度は以下のような特殊な電極作成法を開発した。すなわち、微細電極では電極の大きな消耗は避けることが出来ないので、長さ方向に長い異型形状の電極を作って、電極消耗の影響を避けることを試みた。ここでは後に作成する複雑形状の多様性を目指して、短辺0.3mmの直角二頭辺三角形の銀タングステンを引き抜き法で作成した。これを用いて任意の微細複雑多角形形状を加工する方法を確立した。この方法によれば、通常のワイヤカットのように加工に先立って下穴をあける必要もなく、また角のアールもワイヤカットでは不可能な約15ミクロン程度まで、追い込むことが出来る。さらに、能率の点でもワイヤカットよりかなり有利である。
現在は、位置決めを顕微鏡下で行なっているのでこれをNC化すること、および、さらにアールの小さな電極を作成することが今のところの課題である。今後これらの問題を解決して、さらに使用しやすい加工機を完成させることを目標としている。

Research Products

• [Publications] Y.UNO,A.OKADA,M.ITOH & T.YAMAGUCHI: "Electrical Discharge Machining of a Groove with a Rotating Disk Electrode" Int.J.of Electrical Machining. No.1. 13-20 (1996)
• [Publications] 宇野義幸,岡田晃,郭常寧,高木俊: "放電加工用高性能グラファイト電極の可能性" 電気加工技術. 26巻64号. 11-17 (1996)