マイクロ光造形法を用いたマイクロ集積流体システムの研究

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555402
• Section: 試験
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 生田 幸士 名古屋大学, 工学部, 教授 (90212745)
• Keywords: マイクロ光造形法 / 紫外線硬化樹脂 / 大量生産形光造形法 / 光ファイバーアレイ / ポリマーサーミスター

Research Abstract

前年度までに生田らによって達成された分解能を1μm以下へと大幅に向上させるため,紫外線レーザや光学系の改良及び硬化過程の理論的解析,実験的検証を行い,紫外線硬化ポリマー特性と光学条件との関係を解明した。
本来一品生産であるマイクロ光造形法を大量生産に対応させるため,4μm径の微細光ファイバー群を用いたシンプルではあるが高分解能を容易に得られるパラレルスキャン方式の試作を行い,その有効性を確認した。この結果,マイクロ集積流体システム(MIFS)を製作する際に不可欠なシリコンプロセスとの整合性を得ることに成功した。
また,本手法で製作したマイクロ流路に液体を注中して化学反応させ,その光学的変化を微小センサにて検出することに成功した。
平成9年度は,8年度で得られた新たな知見をもとに,より複雑な構成のマイクロ集積流体システムを製作,検証を行う。

Research Products

• [Publications] K.Ikuta: "3D Micro Integrated Fluidic System foward Living LSI" Proc.of 5th International Conference of Artificial Life. (in press). (1997)
• [Publications] 生田幸士: "化学集積回路と未来の人工脳" 綜合臨牀. 46・1. 42-44 (1996)