酸化物蛍光体を用いたフルカラー発光セラミック形EL素子の開発

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555417
• Research Category: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
• Research Institution: Kanazawa Institute of Technology
• Principal Investigator: 高田 新三 金沢工業大学, 工学部, 教授 (70064467)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 板谷 尚雄 グンゼ株式会社, 滋賀研究所, 主任研究員 ; 古川 修二 グンゼ株式会社, 滋賀研究所, 研究員 ; 南 内嗣 金沢工業大学, 工学部, 教授 (70113032)
• Keywords: 酸化物蛍光体 / 薄膜EL / エレクトロルミネッセンス

Research Abstract

当年度は、1)低温で高品質な発光層薄膜を形成するため、硅酸塩系酸化物蛍光体である緑色発光Zn_2SiO_4:Mnの母体薄膜のCVD成膜技術の確立を図った。2)1)で作製した母体に対する発光中心であるMnのド-ピング技術の確立と膜の評価技術について検討した。特に当年度はEL特性の精密評価技術の確立を目指した。そのためディジタル交流電力計測システムを導入し、ELの発光効率を従来法との比較検討を行った。3)赤色発光ランプ用蛍光体であるZnGa_2O_4:Cr、Y_2O_3:Eu、CRT蛍光体であるZnGa_2O_4:Mn,Zn_2SiO_4:Mn、青色発光蛍光ランプ、あるいはCRT用蛍光体であるY_2SiO_5:CeあるいはZn_2SiO_4:Ti、さらにZn_2SiO_4:Tm,Zn_2SiO_4:Eu,ZnGa_2O_4の各種蛍光体について、とくに将来有望なZnGa_2O_4を中心に検討をおこなった。GaソースにGaアセチルアセトネート、ZnソースにはZnアセチルアセトネート、Siソースにはテトラエチルオルソシリケート(TEOS)またはテトラエチルシランそして酸素ソースには水、空気および過酸化水素の導入を検討した。
以上の検討の結果、Zn_2SiO_4系のCVDによる成膜は非常に困難であることがわかった。そこで、蛍光体として古くから知られているZnGa_2O_4系を重点に検討することに切り替えた。現在、ZnGa_2O_4:Mn系蛍光体をEL素子に適用した結果では、as-dep.においても10cd/m^2以上の高輝度緑色発光が実現している。