1995 Fiscal Year Annual Research Report
高出力半導体レーザを用いたニューメディア対応回路板上ナノメータ不純物検出装置
| Project/Area Number |
07555427
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
|
| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
|---|
Principal Investigator |
秋山 伸幸 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (90251850)
|
|---|
| Keywords | 微粒子検出 / 液晶表示素子 / TFT-LCD / 不純物検出 / 半導体レーザ / 散乱光検出 / 歩留り向上 / 標準粒子 |
|---|
| Research Abstract |
本年度はニューメディア対応回路板としてTFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)に絞って,この上の1μmパーティクルを,基板(寸法360×460mm)全面にわたって15秒以内で検出する技術を開発した.また実験装置の設計を完了し,製作を一部完了した.具体的成果は以下の通りである.
(1)TFT-LCD上に入射角75°で500mW半導体レーザ光を照明し,照明点上方から散乱光をカメラレンズで検出する.この際フーリエ変換面に幅2mmの空間フィルタを設けることによって,1μm標準粒子と回路パターンの弁別比を向上した.(空間フィルタなし時0.8→ 今回1.8)
(2)照明方向の前方,反射角45°の方向から散乱光を検出することにより,上記の垂直上方検出に比べて,1μmパーティクル検出出力が4倍向上した.
(3)照明,検出,自動焦点合わせ機能を有する実験装置の仮組立てを完了した.
|
