1996 Fiscal Year Annual Research Report
CCDマルチチャンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作
| Project/Area Number |
07555510
|
|---|
| Research Institution | TOHOKU UNIVERSITY |
|---|
Principal Investigator |
杉本 克久 東北大学, 工学部, 教授 (80005397)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
赤尾 昇 東北大学, 工学部, 助手 (80222503)
原 信義 東北大学, 工学部, 助教授 (40111257)
|
|---|
| Keywords | エリプソメトリー / マイクロエリプソメータ / 分光エリプソメータ / CCDマルチチャンネル検出器 / 不働態皮膜 / 膜厚 / 光学定数スペクトル |
|---|
| Research Abstract |
1.研究目的
反射光の検出に2次元のCCDイメージセンサを用い、高速のリアルタイム分光エリプソメトリー測定と顕微エリプソメトリー測定ができ、かつ両者の測定を組み合わせて微小部分の分光エリプソメトリー測定が可能なエリプソメータを開発すること、ならびに本装置を用いてステンレス鋼および炭素鋼の孔食発生過程における表面不働態皮膜の場所的ミクロ変化を明らかにすることを目的とする。
2.研究成果
1.試料走査型マイクロ分光エリプソメータへの改良: 平成7年度に試作した波長走査方式の装置を試料走査方式に改良し,CCDを分光モードで動作させて高速測定できるようにした。測定所要時間は短縮される一方,反射像拡大に用いるレンズ群の分光特性によって測定波長範囲が制限されることが分かった。
2.18-8ステンレス鋼の孔食発生過程における不働態皮膜の場所的ミクロ変動の解析: 0.1M-NaCl溶液中における18-8ステンレス鋼の孔食誘導期間中における不働態皮膜の変化を測定した。得られた結果を解釈するために,CVD法で作製したFe_2O_3-Cr_2O_3薄膜を用いて,皮膜溶解過程の光学スペクトル変化を測定した。その結果,光学スペクトルよりも膜厚の場所的ミクロ変化の方が大きいことなどが分かった。
3.炭素鋼の孔食発生過程における不働態皮膜の場所的ミクロ変動解析: 中性のベントナイト接触水およびホウ酸塩緩衝溶液中における亜共析鋼(0.12%C)の不働態皮膜の厚さおよび光学定数スペクトルの場所的ミクロ変動を測定した。フェライトおよびパ-ライト相を模擬した純FeおよびFe_3C上の不働態皮膜の解析も合わせて行った結果,両相上の皮膜の厚さと光学スペクトルは異なることが明らかになった。
|
