マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555513
• Research Category: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
• Keywords: マイクロープラズマ / ナノスケーループラズマ / マルチプローブ / プラズマ環境STM / 微小ラングミュアー法

Research Abstract

(1)『マイクロ/ナノスケール放電プラズ発生装置』の試作
および。最大高圧100気圧のチャンバーを用いた微小空間発生装置を試作した。またこの装置を利用し、高圧STM装置も試作した。
(2)マイクロ/ナノスケール放電プラズマの世界に先駆けた創生
ミクロンからサブミクロンの微小ギャップ直流プラズマ(窒素、空気)を初めて発生することに成功した。
(3)そしてその物性測定
上記プラズマの電子密度、電子温度を微小ラングミュアー方により測定し、その高密度性を実証した。
(4)ナオプラズマ用マルチプローブの試作
上記微小プラズマ発生電極/診断プローブを目指した、ナノプラズマ用マルチプローブの試作を試みた。ゾルゲル法および選択性エッチング法により、先端1ミクロンオーダーのみ伝導部で、その他の部分は絶縁膜コーテイングしたものであり、ナノプラズマ技術の基板技術となるものである。
(5)プラズマ環境STMの開発
ナノプラズマの新たな診断方法のとして、プラズマ環境STMを提案し、その試作に着手した。

Research Products

• [Publications] K. Terashima, L. Howald, H. Haefke, H. J. Gartherode: "DEVELOPMENT OF MESOSCALE/NANOSCALE PLASMA GENERATOR" Thin Solid Films. (発表予定). (1996)