マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07555513
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
• Keywords: マイクロ・プラズマ / ナノスケール・プラズマ / マルチプローブ / プラズマ環境STM / プラズマエッチング

Research Abstract

(1)マイクロ/ナノスケールワールド放電プラズマ発生装置の試作とそのエッチングへの応用
『マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置』の試作を行い、μmからnmオーダーの精密制御された電極間-“ナノスケール/マイクロスケール(メゾスコピック)空間"-で、100気圧までの高圧環境下での微小放電プラズマの発生に成功した。得られた、各種、微小スケールプラズマについて、プローブ診断法。による、プラズマ診断の初期実験を行い、「低温高密度(10^<13>個/cc)プラズマ」といった、これらのプラズマの特異的な物性を明らかにした。
また、その微小エッチングの応用を試み、サブミクロンエッチングに成功した。
(2)マイクロ/ナノスケールワールドプラズマ電極用マルチプローブの試作
上記微小プラズマ発生電極/診断プローブを目指した、ナノプラズマ用マルチプローブの試作を試みた。光学顕微鏡下での絶縁膜ウエットコーテイング法により,数μm程度の大きさの電極用プローブの作製に成功した。
(3)プラズマ環境STMの開発
ナノプラズマの診断方法として、プラズマ環境STMを提案し、その試作に着手した。計測系,真空系などは完成し,そのプラズマ下での動作確認まで行った。

Research Products

• [Publications] Kazuo Terashima ら: "Development of a nesoscale/nanoscale plasma generator" Thin Solid Films. 281-282. 634-636 (1996)
• [Publications] Kazuo Terashima ら: "Scanning tunneling microscopy of epitaxial YiBa_2Cu_3O_<7-x> films prepared by plasma flash evaporation" Journal of Applied Physics. 81・3. 1222-1226 (1997)