究極の可視光検出器(裏面照射大型薄膜CCD)の試作

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07559013
• Research Category: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
• Research Institution: National Astronomical Observatory of Japan
• Principal Investigator: 家 正則 国立天文台, 大型光学赤外線望遠鏡計画推進部, 教授 (30111446)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 村松 雅治 浜松ホトニクス, 固体事業部, 研究員 ; 高遠 徳尚 国立天文台, 大型光学赤外線望遠鏡計画推進部, 助手 (50261152) ; 西村 徹郎 国立天文台, 大型光学赤外線望遠鏡計画推進部, 教授 (90260017) ; 田中 済 国立天文台, 光学赤外線天文学研究系, 助教授 (20011570)
• Keywords: CCD / 高感度化 / 薄膜 / 量子効率 / 光検出器

Research Abstract

本研究は、光検出器としてのCCD(電荷結合素子)の性能をその理論限界にまで高め、高感度・低雑音・大規模CCDを製作するための技術的開発要素について、試作に基づく具体的な開発研究を行い、天体観測の効率を大幅に向上させる道を開くことを目的としている。
平成七年度はほぼ当初計画に沿って、1)素子の保護の仕方の検討、2)電極の取り出し方の検討、3)薄膜化の方法の具体的比較検討、4)アキュミュレーション法の試作検討、5)および反射防止膜の付加法の検討を進め、これらの検討成果を盛り込んだ試作CCD素子を村松を中心に作成し、国立天文台グループを中心にその性能評価を行った。評価結果を考慮して、製作工程を改善した改良型のCCDを再度製作し、その評価をハワイ大学天文学研究所の協力を得て、行った。低温環境での評価測定に必要なデュワ-を調達の予定であったが、既存の冷却用デュワ-を改造し転用することができた。
これらの評価試験の結果、紫外線感度に改善の余地があるものの、反射防止膜を付加していない素子としては、波長感度特性については、ほぼ満足のゆくレベルのものができる見通しが得られた。今後の改善すべき問題点とその解決法についても、一定の見通しが得られつつあり、次年度にはさらに改善を加えて試作を進める予定である。

Research Products

• [Publications] S.Miyazaki: "CCD_2 for Subaru Telescope21GC01:Scienitfic and Engineering Frontiers for 8-10m Telescopes Universal Academy Press" 121-130 (1995)
• [Publications] S.Miyazaki: "Receut CCD Development Activitees" SPIE Proceedings. (in press). (1996)
• [Publications] 家 正則: "天体撮影の最前線" 日本写真学会誌. 58. 573-582 (1995)