1995 Fiscal Year Annual Research Report
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07650021
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Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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| Research Institution | Kogakuin University |
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Principal Investigator |
中澤 叡一郎 工学院大学, 工学部, 教授 (60227767)
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| Keywords | 冷陰極 / 電子放射 / 薄膜 |
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| Research Abstract |
本研究テーマの交流型薄膜冷陰極素子について着想以来、硫化物、酸化物、有機物等の材料について電子放出を確認してきたが、その中で、酸化物は他の材料と違った特異な放射特性を示す。本研究は、この酸化物膜の電子放射についてより詳しく実験研究を行い、その機構を明らかにするを目的とする。
平成7年度については、素子の作製と過渡特性の測定装置を調えることを主たる計画とし、予定通りにこれを終えた。詳細を次の通りである。
加速層の材料としては酸化亜鉛について調べることにした。これと電子ブロック層の五酸化タンタルの薄膜を作製するために、DCスパッタ法を改良した新しい製膜法(間欠化成スパッタ法と名付けた)を試み、金属をターゲットとして酸化物膜を効率よく製膜する事に成功した。また、放射測定はこれまで10^<-4>Pa台の真空度で行っていたが、オイルフリーな真空排気系を導入し、一桁高い真空度の測定システムを組み立てた。
このようにして作製した酸化亜鉛薄膜を加速層に用いた素子について電子放射の測定を行い、放射を確認して学会などで報告をおこなった。
平成8年度については、予定通り電子放射のダイナミックな特性の測定に入る。(これに備え、超高速電流電圧変換増幅器を平成7年度に購入した)酸化亜鉛加速層の素子について放射の過渡特性を測定し、これまでの静的測定の結果と併せて酸化物に特有な放射機構の解明を図りたい。また、各種の材料による放射性能の違いの原因や、放出電子のエネルギー分布測定も、今後の検討課題である。
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