1995 Fiscal Year Annual Research Report
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07650042
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Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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| Research Institution | University of Tsukuba |
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Principal Investigator |
伊藤 雅英 筑波大学, 物理工学系, 講師 (30150874)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
谷田貝 豊彦 筑波大学, 物理工学系, 教授 (90087445)
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| Keywords | 波連相関法 / 欠陥検査 / 白色干渉 / 散乱測定 / 非接触計測 |
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| Research Abstract |
時間的にインコヒーレントな光源を用いた干渉計では,光路差がゼロの部分のみ干渉縞が発生する.このことに着目し,被測定物からの散乱光と可動参照鏡からの反射光を干渉させて,干渉縞の発生する参照鏡の位置から欠陥の位置を測定することができる.このような低コヒーレンスな光源による干渉法が波連相関法である.今年度はトワイマングリーン型の干渉計を設計し,片方の腕の反射鏡を精密ステージに設置することにより,光路長を1ミクロンの精度で制御することができた.干渉計の精度としては未だ不足であるが,補間法を用いることにより,統計的に0.1ミクロン程度の分解能を達成することができた.光源としては0.1mmの大きさを持つハロゲンランプを用いた.より精度を向上させるため,位相シフト法の適用について検討を行った.位相シフト干渉法はこれまでコヒーレントなレーザー光源について主に適用されてきたが,その方法をインコヒーレントな光源を用いた干渉法について応用する場合の問題点とその解決法について解析を行った.結論としては,光源,光学系,検出系を含めたスペクトルの分布が中心スペクトルに対して対称であれば,従来の方法が適用できることがわかった.一般的な解析解を求めることは困難であるためいくつかのシミュレーションを行った.三角分布,2次関数分布,正弦分布などについてその正当性を確認した.
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Research Products
(3 results)
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[Publications] M. Itoh, et. al.: "Broad-band light-wave corvelation topography using wavelet-transtan" Opt. Rev.2. 135-8 (1995)
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[Publications] N. Yoshikawa, et al: "Interporation of reunstructed image in houriet Transtern" Opt. Commun.119. 33-40 (1995)
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[Publications] H. Huang, et al.: "Optical module for modifiedsigned-digit compatingbased encordiug and pattern recognition" Opt. Rev.2. 255 (1995)
