1995 Fiscal Year Annual Research Report

スピン偏極電子弁別プローブによる極微細磁区観察法の開発

Research Project

Project/Area Number	07650360
Research Category	Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Institution	Tokyo Institute of Technology
Principal Investigator	中川茂樹東京工業大学, 工学部, 助手 (60180246)
Keywords	偏極スピン電子 / プローブ / 極微細磁区 / フォトリソグラフィー / トンネル電子顕微鏡
Research Abstract	本研究では偏極スピン電子検出用のプローブ針の作製が最も重要である。そこで、研究の第1段階としてフォトリソグラフィ法によるプローブ針の作製を試みた。まずフォトリソグラフィ法の各プロセス中の露光およびエッチング条件の最適化を行った。Si(100)基板上に塗布した約2μm厚のOFPRを下部レジスト層とし、100nm厚のAlスパッタ膜を中間層に、その上に200から300nm厚の上部レジスト層を塗布した構成の3層レジスト上に微細パターンの露光を行った。レジストの現像後、CCl_4ガスを用いたRFプラズマエッチングによりAl層をエッチングし、そのままO_2ガスプラズマにより下部レジスト層のアッシングを行った。以上のようなプロセスにより1〜2μm幅の細線パターン及び最小5μm径のドットパターンがAl膜上に形成できることがわかった。次に、このようにして作製したリフトオフ用パターン上に、Cu膜をイオンビームスパッタ法で堆積しリフトオフすることでCuプローブの形成を試みた。イオンビームスパッタ法では膜堆積粒子の方向性が良いため、10μm以下の細孔パターンを通して基板に堆積する粒子は膜面に対しほとんど垂直に入射するものであると考えられる。しかしながら、リフトオフ後のサンプルをSEMおよびAFMで観察したが、膜厚の分布が大きくレジストパターン通りのCu細線やドットが得られる条件が比較的狭いことなどがわかった。これらの実験結果より、イオンビームスパッタ法とリフトオフ法により、プローブ針の作製についての指針が得られた。今後、引き続いてCu/Co/Co_<67>Cr_<33>多層膜を用いたプローブの作製および特性評価を行う予定である。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] Shigeki NAKAGAWA: "Improvement of Soft Magnetism of Fe_<90> Co_<10> Sputeered Films by Addition of N and Ta" Journal of Applied Physics. (発表予定). (1996)
[Publications] Shigeki NAKAGAWA: "Control of Soft Magnetism of Co-Zr and Co-Zr-Ta Films for Backlayers in Perpendicular Magnetic Recording Media" IEICE Trans.on Electronics. E78-C. 1557-1561 (1995)
[Publications] Shigeki NAKAGAWA: "Relationship between Ta concent and Soft magnetism of Co-Zr-Ta Films for Backlayers in Perpendicubr Magnecic Recording Media" Journal of Magnetism and Magnetic Material. (発表予定). (1996)
[Publications] 中川茂樹: "GMR・スピンバルブ素子用多層膜の界面調整と特性制御" 日本応用磁気学会誌. 19[S2]. 34-37 (1995)
[Publications] Masahiko NAOE: "PREPARATION OF SOFT MAGNETIC Fe/Ta AND Fe:N/Ta:N MULTI-LAYERED FILMS WITH LARGE MAGNETIZATION FOR INDUCTIVE RECORPING HEAD" Journal of Applied Physis. (発表予定). (1996)
[Publications] T.Ichihara: "FABRICATION OF PUAL COMPLIMENTARY TYPE OF THIN FILM RECORPING HEADS FOR PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING" Journal of Applied Physics. (発表予定). (1996)

1995 Fiscal Year Annual Research Report

スピン偏極電子弁別プローブによる極微細磁区観察法の開発

Principal Investigator

中川 茂樹 東京工業大学, 工学部, 助手 (60180246)

Research Products

[Publications] Shigeki NAKAGAWA: "Improvement of Soft Magnetism of Fe_<90> Co_<10> Sputeered Films by Addition of N and Ta" Journal of Applied Physics. (発表予定). (1996)

[Publications] Shigeki NAKAGAWA: "Control of Soft Magnetism of Co-Zr and Co-Zr-Ta Films for Backlayers in Perpendicular Magnetic Recording Media" IEICE Trans.on Electronics. E78-C. 1557-1561 (1995)

[Publications] Shigeki NAKAGAWA: "Relationship between Ta concent and Soft magnetism of Co-Zr-Ta Films for Backlayers in Perpendicubr Magnecic Recording Media" Journal of Magnetism and Magnetic Material. (発表予定). (1996)

[Publications] 中川茂樹: "GMR・スピンバルブ素子用多層膜の界面調整と特性制御" 日本応用磁気学会誌. 19[S2]. 34-37 (1995)

[Publications] Masahiko NAOE: "PREPARATION OF SOFT MAGNETIC Fe/Ta AND Fe:N/Ta:N MULTI-LAYERED FILMS WITH LARGE MAGNETIZATION FOR INDUCTIVE RECORPING HEAD" Journal of Applied Physis. (発表予定). (1996)

[Publications] T.Ichihara: "FABRICATION OF PUAL COMPLIMENTARY TYPE OF THIN FILM RECORPING HEADS FOR PERPENDICULAR MAGNETIC RECORDING" Journal of Applied Physics. (発表予定). (1996)

中川茂樹東京工業大学, 工学部, 助手 (60180246)