1995 Fiscal Year Annual Research Report

最大エントロピー法を用いた画像修復による電子顕微鏡の高解像度化に関する研究

Research Project

Project/Area Number	07650395
Research Category	Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
Research Institution	Nagoya University
Principal Investigator	花井孝明名古屋大学, 工学部, 講師 (00156366)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	小粥啓子名古屋大学, 理工科学総合研究センター, 助手 (60262862) 田中成泰名古屋大学, 工学部, 助手 (70217032)
Keywords	最大エントロピー法 / 画像修復 / 電子顕微鏡 / 量子ノイズ / 走査透過電子顕微鏡 / 弱位相物体
Research Abstract	1.最大エントロピー画像修復システムの構築:電子顕微鏡用写真フィルムに撮影した像をワークステーションに取り込み,最大エントロピー法(MEM)により処理するために,備品としてスキャナを購入し,さらに,従来大型計算機で開発してきた処理プログラムをワークステーションに移植して,電子顕微鏡像の修復システムを構築した.システムは正常に動作し,電子顕微鏡像の微細な構造までディジタル化し,MEM処理することが可能となった.このシステムにより,従来より精度の高い像の取り込みが可能となり,また,処理結果をすぐに表示できるなど,実験を効率的に進める環境が整った. 2.走査透過電子顕微鏡(STEM)像の修復:新しく考案した,ノイズを空間的にランダムに分布させる制約条件(RSD条件)を実現するように改良したMEMを,SN比の小さいSTEM像に適用し,従来のMEM処理の結果と比較した.その結果,従来法では修復できなかった空間的に広がったディスク状物体の像に対しても,RSD条件を用いることにより処理が可能となり,処理の結果,像のSN比が向上することが分った.また,従来法でもある程度修復が可能であった点物体の場合にも,RSD条件を用いることにより従来よりSN比の高い処理像が得られた.しかし,こうようなSN比の低い像では像のぼけを低減することはできなかった. 3.通常の電子顕微鏡(CTEM)像のモデルの修復:弱位相物体のCTEM像のモデルに対して,改良したMEMによる修復を行った.その結果,点位相物体のCTEM像の場合には,SN比が低くて人間には認識できないような悪条件の像からでもぼけとノイズを低減でき,点物体として修復できることが分った.また,ディスク状位相物体についても,点物体の場合ほど顕著ではないがぼけが低減し,像のSN比が向上することが分った.

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] 花井孝明: "Effect of the Three-Fold Astigmatism on the Foil Lens Used for Correction of the Spherical Aberration of a Probe-Forming Lens" Optik. 97. 86-90 (1994)
[Publications] 花井孝明: "Improvement of Maximum Entropy Method for Reduction of the Statistical Noise in Electron Microscope Images" Electron Microscopy 1994. 1. 435-436 (1994)
[Publications] 花井孝明: "Characteristics and Effectiveness of a Foil Lens in Correcting the Spherical Aberration of Electron Probe Instrumwnts" Abst.4th Int.Conf.Charged Particle Optics. 226-227 (1994)
[Publications] 日比野倫夫: "Detection System for Fast STEM Elemental Mapping Using Parallel EELS with a Moderate-Scale Detector" Microbeam Analysis. 3. 299-303 (1994)
[Publications] 日比野倫夫: "Formation of Fine Electron Probe by Correction of the Spherical Aberration and Its Application to STEM" Proc.!st China-Japan Joint Symposium on Microbeam. 33-38 (1994)
[Publications] 花井孝明: "Insrase of Current Density of the Electron Probe by Correction of the Spherical Aberration with a Side-Entry Type Foil Lens" Journal of Electron Microscopy. 44. 301-306 (1995)

1995 Fiscal Year Annual Research Report

最大エントロピー法を用いた画像修復による電子顕微鏡の高解像度化に関する研究

Principal Investigator

花井 孝明 名古屋大学, 工学部, 講師 (00156366)

Research Products

[Publications] 花井孝明: "Effect of the Three-Fold Astigmatism on the Foil Lens Used for Correction of the Spherical Aberration of a Probe-Forming Lens" Optik. 97. 86-90 (1994)

[Publications] 花井孝明: "Improvement of Maximum Entropy Method for Reduction of the Statistical Noise in Electron Microscope Images" Electron Microscopy 1994. 1. 435-436 (1994)

[Publications] 花井孝明: "Characteristics and Effectiveness of a Foil Lens in Correcting the Spherical Aberration of Electron Probe Instrumwnts" Abst.4th Int.Conf.Charged Particle Optics. 226-227 (1994)

[Publications] 日比野倫夫: "Detection System for Fast STEM Elemental Mapping Using Parallel EELS with a Moderate-Scale Detector" Microbeam Analysis. 3. 299-303 (1994)

[Publications] 日比野倫夫: "Formation of Fine Electron Probe by Correction of the Spherical Aberration and Its Application to STEM" Proc.!st China-Japan Joint Symposium on Microbeam. 33-38 (1994)

[Publications] 花井孝明: "Insrase of Current Density of the Electron Probe by Correction of the Spherical Aberration with a Side-Entry Type Foil Lens" Journal of Electron Microscopy. 44. 301-306 (1995)

花井孝明名古屋大学, 工学部, 講師 (00156366)