1996 Fiscal Year Annual Research Report
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07650781
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| Research Institution | GIFU UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
杉浦 隆 岐阜大学, 工学部, 助教授 (40171144)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
吉田 司 岐阜大学, 工学部, 助手 (90273127)
箕浦 秀樹 岐阜大学, 工学部, 教授 (40021612)
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| Keywords | 酸化亜鉛 / 粒界 / セレン化カドミウム / エレクトロセラミックス / チタン酸ストロンチウム / バリスター / ガスセンサー / 光電気化学エッチング |
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| Research Abstract |
CdSe,SrTiO_3,ZuO焼結体の光電気化学エッチングサイト選択性について調べ、その粒構造、特に粒界部のエネルギーバンド構造について検討した。また、SrTiO_3バリスター、ZuOガスセンサーに対して光電気化学エッチング処理を施し、その素子特性に及ぼす影響について検討した。
1.CdSe焼結体をモデル物質として、光電気化学エッチングサイト選択性の観察を行なった。エッチング時の電位を変えることで、エレクトロセラミックス素子の機能発現に重要な役割を果たす粒界部のエッチング選択性が大きく変化することがわかった。これは、半導体/電解液界面に界面に形成される空間電荷層と粒界部に形成される粒界部の空間電荷層の電位勾配の大きさの相対関係に依存して変化するものと考えられ、逆にエッチング選択性の観察によりそれら空間電荷層の情報が得られることがわかった。
2.SrTiO_3バリスターに対して光電気化学エッチング処理を施し、エッチング選択性と素子特性について検討した。CdSeの場合と同様に、エッチング電位に依存して、粒界部が選択的に溶解する場合と溶け残る場合があり、それに対応してバリスター特性が変化することがわかった。
3.ZnOガスセンサーに対する光電気化学エッチング処理の効果について検討した。ZnOのバンドギャップ以下の長波長光を重畳した白色光により光電気化学エッチングを行なうと、粒界が選択的に溶解し、水素をモデル被検ガスに用いて検討したところ、ガスセンサー特性における感度が向上することがわかった。
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