その場測定法によるナノ微粒子の成長機構に関する研究

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07750077
• Research Institution: Kyushu University
• Principal Investigator: 福澤 剛 九州大学, 工学部, 助手 (70243904)
• Keywords: ナノ微粒子 / クラスター / 微小微粒子 / 光脱離 / 光イオン化 / その場測定 / パルス高周波放電法 / シランプラズマ

Research Abstract

本研究では,シランプラズマ中の微粒子の核発生と初期成長過程を調べることを目的とし,新たに創案した光脱離法,光イオン化法を用いて高周波シランプラズマ中のサブナノSi微粒子の成長過程を調べ,以下の成果を得た.
1)新たに創案した光脱離法,光イオン化法を用いることによって,従来できなかったサブナノSi微粒子成長のその場観察を可能とした.
2)高周波シランプラズマ中のサブナノSi微粒子は核発生,初期成長の段階から,短寿命ラジカル密度の高い高周波電極側のプラズマシース境界領域で成長することを見出した.
3)放電周波数を6.5から28MHzに増加すると,短寿命ラジカルの発生が増加し,それに伴いサブナノSi微粒子の成長速度も速くなることを見出した。
4)2),3)の結果は,短寿命ラジカルが微粒子発生のキ-ラジカルであり,しかも,一つの微粒子の発生に短寿命ラジカルが多数個関与していることを示唆している.

Research Products

• [Publications] Yukio Watanabe: "Contribution of short lifetime radicals to growth of particles in SiH_4 HF discharges and effects of particles on deposited films" Journal of Vacuum Science & Technology A. (印刷中). (1996)
• [Publications] 福澤 剛: "光脱離法によるシランプラズマ中微小微粒子の検出" 第42回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 29 (1995)
• [Publications] 福澤 剛: "光脱離法によりシランプラズマ中微小微粒子の検出II" 第56回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 27 (1995)
• [Publications] 福澤 剛: "光脱離法による高周波シランプラズマ中微小微粒子の検出" 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集. 191 (1995)
• [Publications] 白谷 正治: "光イオン化法によるシランプラズマ中微粒子の検出" 応用物理学会九州支部講演会講演予稿集. 21. 127-128 (1995)
• [Publications] 福澤 剛: "シランプラズマ中微粒子の初期成長過程に及ぼす放電周波数の影響" 応用物理学会九州支部講演会講演予稿集. 21. 125-126 (1995)
• [Publications] 福澤 剛: "Growth processes of small particulates in silane plasmas" Proceedings of the 12th Symposium on Plasma Processing. 12. 385-388 (1995)