1996 Fiscal Year Annual Research Report
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07805035
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| Research Institution | Tokai University Junior College |
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Principal Investigator |
佐藤 洋一 東海大学短期大学部, 教授 (20215867)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
崔 一よん 東海大学短期大学部, 助教授 (20171928)
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| Keywords | マイクロマシン / アルミニウム / 陽極酸化 / 多孔質アルミナ / 片持ち梁 |
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| Research Abstract |
平成8年度の研究計画にしたがって報告する。
1.陽極酸化によって得られたアルミナ膜の物性
温度の異なる基板上にスパッタされたアルミニウム薄膜を陽極酸化することで得られたアルミナ膜について、SEM、TEM、電子線回折により構造解析をおこなった。また光学特性測定を行った。その結果
(1)基板温度が高いほどアルミナ薄膜には凝集が見られる。また陽極酸化は付着したアルミニウムの表面形状を保ちながら進行することが分かった。多孔質アルミナに見られる微細孔の直径は約20μm程度である。TEM観察では、基板温度が高いほど孔のできかたはイソギンチャク様になる。常温の場合の表面状態が最も平坦で連続性を持っている。ただし、高温の場合もマクロ的には平坦面が保たれている。
(2)硫酸液を用いた陽極酸化のアルミナ膜は通常無色透明といわれているが、やや灰色味を帯びていた。紫外線吸収測定をおこなったが、顕著な吸収はない。全領域にわたって10%程度の吸収がある。
(3)屈折率の測定では基板温度常温のアルミナが約1.6、基板温度300℃で3.2と温度が高いほど屈折率は大きくなることが分かた。
2.マイクロアクチュエータとしての振動子の機械的特性測定
(1)平成7年度は片持ち梁の動的測定からヤング率を測定したが、本年度は静的特性として、梁のたわみ量を測定した。その結果、μgオーダーの質量を検知する能力を持っていることが分かった。
(2)試作した梁に下に凸の反りが生じた。主なプロセスに対応してその内部応力を測定した。その結果最終工程である上部電極用アルミニウムとアルミナ梁の間に生じる応力が原因であることを確認した。
3.マイクロ湿度センサの試作
アルミナ膜の吸着性を利用し湿度センサの試作を行った結果、50%以上の湿度に対しては高感度で動作することが確認された。
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