超並列光エレクトロニクス

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07CE2003
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 伊賀 健一 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (10016785)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 中村 健太郎 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (20242315) ; 徳光 永輔 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (10197882) ; 小山 二三夫 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (30178397) ; 下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796) ; 石原 宏 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (60016657)
• Keywords: 半導体レーザ / 光通信 / 微小光学 / 並列光情報処理 / 光インターコネクト / 光集積回路 / ニューロトランジスタ / マイクロマイン

Research Abstract

本研究プロジェクトは、光デバイス、集積回路工学、超音波工学、マイクロマシーン、金属材料科学、情報工学、光波センシングなど異なる分野の研究者チームからなり、研究分野の枠を越えて相互に連携を図りながら、面発光レーザを中心とした超並列光デバイスの開拓、大規模なフォトニクス集積技術の開拓、超並列光エレクトロニクス技術を用いた新しいコンピュータシステムの探求とその具現化を進めた。平成8年度までに、新規導入設備の整備を完了し、超並列光エレクトロニクスのキイデバイスである面発光レーザの高性能化、近赤外から紫外・青色領域での広い波長領域での実現のための研究を推進した。さらに、超並列光電子融合システムの実現のために、強誘電体材料をゲート材料としたニューロトランジスタの試作を進めた。また、高精度電子/光ハイブリッド実装技術のための基礎技術開拓などの研究を推進した。
以下にこれまでの研究経過の概要を示す。
1.面発光レーザの高性能化
これまで、横方向の強振器微小化によって低しきい値化を進め、減圧MOCVD法によりGaInAs/GaAs系面発光レーザを製作し、直径5μmの素子で最低70μAのしきい値を実現している。この選択酸化構造を用いた低しきい値面発光レーザのモデリングの確立、最適設計、プロセス技術の確立などを行い、マイクロアンペアオーダーの低しきい値デバイス実現のための基礎技術を確立した。また、活性領域に変調ド-ピングを施した量子井戸構造を用いることにより、さらに低しきい値化が可能であることを見い出した。また、傾斜基板を用いることにより、増幅特性に偏波依存性が発現することを実験的に明らかにし、傾斜基板を用いた面発光レーザの偏波面制御技術を初めて実現し、また、さらなる低しきい値化の可能性を示した。
2.マイクロレーザ実現
昨年度デイスク共振器により実現した世界最小レーザの記録を本年度はさらに更新し、直径2ミクロン、厚さ0.2ミクロンという極微小なデイスク共振器を実現した。パルス駆動時の発振しきい値電流は200μAと極めて低く,これは光通信波長帯のレーザとしては世界最小レベルである。すなわち極限的に小さなレーザにおける極限的な低消費電力を実証し、今後,このレーザの超並列集積化の可能性を明らかにした。
3.広い波長帯の面発光レーザ実現基礎技術開拓と新材料探求
紫外・青色領域面発光レーザの基礎設計を完了し、有機金属気相成長法による面発光レーザウェハの成長条件把握や高反射率反射鏡の形成技術を確立し、可視・紫外面発光レーザ実現の基礎を確立した。また、長波長帯面発光レーザの性能を飛躍的に改善し得る可能性のある材料として、GaInNAs/GaAs系面発光レーザを提案し、その設計と新材料の成長条件把握を行った。
4.ニューロトランジスタの動作実現
ニューロン回路のシナプス部のトランジスタマトリックスとニューロン部となる単接合トランジスタ(UJT)を用いたパルス発振回路を初めて実現した。強誘電体膜の分極特性を用いた適応学習型ニューロントランジスタにおいて、分極反転によるメモリ機能を実証するとともに、3×3のマトリクス構造を実現し、その動作を実証した。
5.光電子大規模集積化のための統合技術開拓
ハイブリッド集積化のためのナノメートル級超精密位置決め機構の実現、バーチャルラボ構築のための仮想設計環境における新しいアルゴリズムの構築、光ファイバを用いた超並列のセンシング技術開拓、光電子集積素子実装技術の研究などを推進した。

Research Products

• [Publications] T.SHIRASAWA,T.HONDA,M.MORI,K.SAOTOME,T.SAKAGUCHI,F.KOYAMA and K.IGA: "Formation of ZnO buffer layer on Si for GaN growth by MOVPE" 15 Electronic Materials Symposium. C-2. 21-22 (1996)
• [Publications] M.MORI,T.HONDA,T.SHIRASAWA,K.SAOTOME,T.SAKAGUCHI,F.KOYAMA and K.IGA: "Growth rate and crystal quality of GaN grown by MOVPE" 15 Electronic Materials Symposium. C-3. 23-24 (1996)
• [Publications] T.HONDA,T.SAKAGUCHI,K.SAOTOME,T.SHIRASAWA,M.MORI,F.KOYAMA and K.IGA: "Characteristic temperature estimation for GaN-based lasers" 15 Electronic Materials Symposium. C-5. 29-32 (1996)
• [Publications] K.SAOTOME,A.MATSUTANI,T.SHIRASAWA,M.MORI,T.HONDA,T.SAKAGUCHI,F.KOYAMA and K.IGA: "Reactive ion beam etching of GaN grown by MOVPE on Sapphire (0001)" 15 Electronic Materials Symposium. C-15. 61-62 (1996)
• [Publications] N.OHNOKI,T.MUKAIHARA,N.HATORI,A.MIZUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "GaInAs/AlGaInAs Semiconductor Lasers on InP Substrate with AlAs Oxide Current Confinement" Int.conf.on Solid State Devices and Materials. 304. (1996)
• [Publications] F.KOYAMA: "Tapered Semiconductor Optical Amplifiers for Broad-band andHigh-power Operations" Proc.of 22nd European Conference on Optical Communication. 3. 177-180 (1996)
• [Publications] N.OHNOKI,N.HATORI,A.MIZUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "Proposal of an AlAs-Oxide Current Confinement Structure for GaInAs/AlGaInAs Long Wavelength Surface Emitting Lasers" IEEE Lasers ond Electro-Optics Society 1996 Annual Meeting. WZ4. (1996)
• [Publications] S.MITSUGI,F.KOYAMA,A.MATSUTANI,T.MIYAMOTO,and K.IGA: "A Design of Polygonal Micro-Ring Cavities for Photonic Integrated Circuits" Proceedings of IEEE Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting. WR4. (1996)
• [Publications] T.HONDA,F.KOYAMA and K.IGA: "Design Consideration of GaN-Based Srface Emitting Lasers" Materials Research Society. N2.1. (1996)
• [Publications] K.SAOTOME,A.MATSUTANI,T.HONDA,F.KOYAMA and K.IGA: "Reactive Ion Beam Etching of GaN Grown by MOVPE" Materials Research Society. N9.21. (1996)
• [Publications] T.SHIRASAWA,T.HONDA,F.KOYAMA and K.IGA: "ZnO Buffer on Si and Sapphire Substrares for GaN MOVPE" Materials Research Society. N3.69. (1996)
• [Publications] M.Hamasaki,P.Kaewplung,T.Baba,A.Matsutani,F.Koyama and K.Iga: "Improved GaInAsP/InP deep grating DBR for monolithic short cavity lasers" Proceeding of Optoelectronic and Communication Conference. no.18P-31 (1996)
• [Publications] Akira SHIMOKOHBE: "Thermal Deformation of CMM structure and Measuring Accuracy" Proceedings Third International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments,Hayama,Japan. 91-95 (1996)
• [Publications] 下河辺明: "高精度磁気軸受の研究(第2報)-オブザ-バの変位推定限界とセンサレス高精度位置決め" 精密工業会. (投稿中).
• [Publications] T.Baba,M.Kihara and R.Watanabe: "Size reduction of GaInAsP/InP microdisk injection lasers for spontaneous emission control" Proceeding of Quantum Optoelectronic Conference. no.QFD3 (1997)
• [Publications] T.Baba,M.Ikeda and N.Kamizawa: "Observation of photonic bandgap in 2D GaInAsP/InP photonic crystals by equivalent transmission measurements" Proceeding of Quantum Optoelectronic Conference. no.QThA3 (1997)
• [Publications] 平泉啓、森川龍介、中村健太郎、上羽貞行: "振動計測用メガヘルツ帯空中超音波ドップラ・トランスデューサ・アレイの試作" 日本音響学会平成9年春季講演論文集. (発表予定). (1997)
• [Publications] 里信純,真金文雅,小池義和,石井孝明,中村健太郎,上羽貞行: "ねじり振動パワー合成法の検討" 日本音響学会講演論文集. II. 931-932 (1996)
• [Publications] 里信純,中村健太郎,上羽貞行: "節円を利用したねじりパワー合成とこれを用いたモータ構成法" 日本音響学会講演論文集. (発表予定). (1997)
• [Publications] 真金文雅,里信純,小池義和,中村健太郎,上羽貞行: "ねじり振動パワー合成法の検討" 第17回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム予稿集. 227-228 (1996)
• [Publications] 石井孝明、松尾英一、中村健太郎、上羽貞行、大西一正: "真空中における超音波モータの動作特性の検討" 日本音響学会平成8年秋季研究発表会講演論文集. 1996. 925-926 (II)
• [Publications] 石井孝明(他5名): "超音波モータ用摩擦材料の評価(III)" 日本音響学会平成8年秋季研究発表会講演論文集. II. 1065-1066 (1996)
• [Publications] 松尾英一、石井孝明、中村健太郎、上羽貞行、大西一正: "真空中での動作時間によるモータ特性及び摩擦特性の変化の検討" 日本音響学会平成9年春季研究発表会講演論文集. (発表予定). (1997)
• [Publications] 石井孝明、高橋久徳、中村健太郎、上羽貞行、大西一正: "複合振動子型超音波モータを用いた摩耗試験" 日本音響学会平成9年春季研究発表会講演論文集. (発表予定). 1997
• [Publications] 松井広明 池上皓三: "相変化時における熱硬化性樹脂の粘弾性特性と硬化温度による内部応力への影響" 日本機械学会論文集(A編). 62-596. 993-1000 (1996)
• [Publications] Kozo Ikegami Tatsuyuki Ono: "Effect of Internal Stress in the Adhesive Layer on Adhesive Strength" Proceedings of EURADH'96. 2. 687-691 (1996)
• [Publications] Kentaro Nakamura and Koichiro Fukaya: "Optical Fiber Coupler Array for Multi-Point Sound Field Measurements" OPTICAL REVIEW. Vol.4 No.1A (under printing). (1997)
• [Publications] 宇野泰斗,中村健太郎: "高周波超音波計測のための小型光ファイバプローブの試作" 日本音響学会講演論文集. II. 889-890 (1996)
• [Publications] K.AIZAWA,T.ICHIKI,T.OKAMOTO,Eisuke TOKUMITSU and Hiroshi ISHIWARA: "Ferroelectric Properties of BaMgF_4 Films Grown on Si(100),(111) and Pt(111)/SiO_2/Si(100) Structures" Jpn.J.Appl.Phys.35,[2B]. 1525-1530 (1996)
• [Publications] Bum-Ki MOON,Eisuke TOKUMITSU and Hiroshi ISHIWARA: "Formation of High-Dielectric Oxide Films on SrVO_<3-x>Si Substrates" Materials Science and Engineering. B41. 157-160 (1996)
• [Publications] Ikuo SAKAI,Eisuke TOKUMITSU and Hiroshi ISHIEWARA: "Preparation and Characterization of PZT Thin Films on CeO_2(111)/Si(111) Structures" Jpn.J.Appl.Phys.35.[9B]. 4987-4990 (1996)
• [Publications] Eisuke TOKUMITSU, Ryo-ichi NAKAMURA and Hiroshi ISHIWARA: "Fabrications of Ferroelectric-Gate Field Effect Transistors Using P (L) ZT Films" J.of the Korean Physical Society (Proc.Suppl.). 29. S640-S643 (1996)
• [Publications] Kwang-Ho KIM,Je-Deok KIM and Hiroshi ISHIWARA: "Properties of Ferroelectric BaMgF_4 on Si(100),(110) and (111) Substrates Obtained by Post-Deposition Rapid Thermal Annealing" Jpn.J.Appl.Phys.35,[2B]. 1557-1559 (1996)
• [Publications] Jeong-Hee OH,Chul-Ju KIM and Hiroshi ISHIWARA: "Enhanced Growth Mechanism in Lateral Solid Epitaxy of Si Films Simultaneously Doped with P and Ge Atoms" Jpn.J.Appl.Phys.35,[3]. 1605-1610 (1996)
• [Publications] H.K.HA,M.YOSHIMOTO,H.KOINUMA,Bum-Ki MOON and Hiroshi ISHIWARA: "Open Air Plasma Chemical Vapor Deposition of Highly Dielectric Amorphous TiO_2 Films" Appl.Phys.Lett.68,[20]. 2965-2967 (1996)
• [Publications] Bum-Ki MOON and Hiroshi ISHIWARA: "Epitaxial Growth of Conductive Strontium-Vanadate Films on Si(100) Substrates and Their Electrical Resistivities" J.Crystal Growth. 162. 154-160 (1996)
• [Publications] 井門俊,荒井敏 高松亮,佐藤誠: "ガウス関数による領域切り出し手法の提案(A Proposal of Gaussian Segmentation)" 電子情報通信学会論文誌D-II. J79-D-II・6. 1064-10 (1996)
• [Publications] 高松亮,佐藤誠,河原田弘: "局所モーメントによる掌の追跡と手指形状認識システム" 第2回画像センシングシンポジウム講演論文集. D1. 129-134 (1996)
• [Publications] 波多野健,山本泰秀 高松亮,佐藤誠: "予測動作提示による仮想遠隔共同作業環境の時間遅れ補償" 日本バーチャルリアリティ学会大会論文集. 1. 155-158 (1996)
• [Publications] 峯洋二、安藤新二、高島和希、頓田英機、肥後矢吉: "αチタン単結晶における疲労き裂伝播挙動" 日本金属学会誌. 61,1. 41-48 (1997)
• [Publications] S.Kumai,J.Hu,Y.Higo,S.Nunomura: "Effects of dendrite cell size and particle distribution on the nearthreshold fatigue crack growth behaviour of cast Al-SiCp compostites" Acta Mater.44,6. 2249-2257 (1996)
• [Publications] S.Kumai,Y.Higo: "Effects of delamination on the transient fatigue crack growth behaviour following overloads in 8090-T8 Al-Li alloys" Mater.Sci.Forum. 217-222. 1371-1376 (1996)
• [Publications] M.Shimojo,T.Nagatomo,Y.Higo,S.Nunomura: "A new method of dynamic measurements of the plastic deformation occurring at a fatigue crack tip" Int.J.Fatigue. (印刷中).
• [Publications] M.Shimojo,R.Iguchi,T.H.Myeong,Y.Higo: "The entering behavior of environmental gases into the plastic zone around fatigue crack tips in titanium" Metall.Mater.Trans.A. (印刷中).
• [Publications] K.SUZUKI,F.KOYAMA,A.MATSUTANI,J.KATO,T.MUKAIHARA and K.IGA: "Miniature semiconductor optical power splitters with submicrometre wide sperture" Electronics Letters. 32,[7]. 654-655 (1996)
• [Publications] N.HATORI,T.MUKAIHARA,Y.HAYASHI,N.OHNOKI,A.MIZUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "Design and fabrication of InGaAs/GaAs quantum wires for vertical-cavity surface-emitting lasers" Jpn.J.Appl.Phys. 35,[3]. 1778-1777 (1996)
• [Publications] E.ACOSTA,S.RIOS,M.OIKAWA,A.SATO and K.IGA: "Numerical method to fit the refractive index profile of planar microlenses made by ion exchange techniques" Optical Review. 3,[4]. (1996)
• [Publications] T.HAMANO and K.IGA: "Spontaneous emission behavior and its injection level dependence in three-dimensional microcavity surface emitting lasers" Electronics and Communications in Japn,Translated from Denshi Joho Tsushin Gakkai Ronbunshi. 79,[4]. (1996)
• [Publications] M.TAKAHASHI,P.O.VACCARO,K.FUJITA,T.WATANABAE,T.MUKAIHARA,F.KOYAMA and K.IGA: "AnInGaAs/GaAS Vertical Cavity Surface Emitting Laser Grown on GaAs(311) A Substrate Having Low Threshold and Stable Polarization" IEEE Photon.Tech.Lett.[8]. 737-739 (1996)
• [Publications] T.H.LOH,T.MIYAMOTO,Y.KURITA,F.KOYAMA and K.IGA: "Reduction of inelastic scattering effect by introduction of GaInAs/GaInP strain-compensated superlattice into multi-quantum barriers" Optical and Quantum Electronics. 28,(5). 613-622 (1996)
• [Publications] T.HONDA,T.SAKAGUCHI,F.KOYAMA,K.IGA,K.INOUE,H.MUNEKATA and H.KUKIMOTO: "Design and fabrication of ZnSe-based blue/green surface emitting lasers" Journal of Crystal Growth. 159. 595-599 (1996)
• [Publications] T.HONDA,S-W.LIM,K.YANASHIMA,K.INOUE,K.HARA,H.MUNEKATA,H.KUKIMOTO,F.KOYAMA,and K.IGA: "Formation of highly conductive p-type ZnSe using Li_3N diffusion" Jpn.J.Appl.Phys.35. 3878-3879 (1996)
• [Publications] 伊賀健一,川口裕三,桂伸一: "円盤光ビーム発生とレーザ水準器への応用" 電子情報通信学会論文誌. J79-C-1. (1996)
• [Publications] N.HATORI,T.MUKAIHARA,M.ABE,N.OHNOKI,A.MIZUTANI,A.MATSUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "Characterization of Residual Stress in Active Region due to AlAs Native Oxide of Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers" Jpn.J.Appl.Phys.(1996)
• [Publications] M.TAKAHASHI,P.O.VACCARO,T.WATANABAE,T.MUKAIHARA,F.KOYAMA and K.IGA: "Growth and characterization of vertical-cavity surface-emitting lasers grown on (311)A-oriented GaAs substrates by molecular beam epitaxy" Jpn.J.Appl.Phys.35. 6102-6107 (1996)
• [Publications] T.MUKAIHARA,N.HATORI,N.OHNOKI,A.MIZUTANI,M.ABE,A.MATSUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "Fabrication processes for low thresholod InGaAs vertical-cavity surface-emitting lasers" Physica B. 227. 400-403 (1996)
• [Publications] Akira SHIMOKOHBE: "The State of the Art of Nano-meter Motion Control in Japan" Proceedings of International Conference on Trends in Industrial Measurements & Automation,Madras,India. 2-8 (1996)
• [Publications] Akira SHIMOKOHBE: "Noncontact Precision Positioning by Electromagnetic Actuators" Proceedings of 1996 Japan-USA Symposium on Frexible Automation,Boston USA. Vol.2. 1151-1159 (1996)
• [Publications] Akira SHIMOKOHBE: "Spindle Motion Control by Active Air Rotary Bearing" Proceedings of 1996 the Japn-China Bilateral Symposium on Advanced Manufacturing Engineering,Hayama,Japan. 44-49 (1996)
• [Publications] Akira SHIMOKOHBE: "Improvement of Sprindle Motion Accuracy by a Control Type Air Rotary Bearing" Proceedings of 1996 Japan-USA Symposium on Flexible Automation,Boston,USA. Vol.2. 1145-1150 (1996)
• [Publications] 馬場俊彦,松崎知美,神澤尚久,池田充貴: "GaInAsp/InP2次元フォトニック結晶" 光学. vol.25,no.7. 409-415 (1996)
• [Publications] T.Baba,N.Kamizawa and M.Ikeda: "Nanofabrication process of GaInAsP/InP 2D photonic crystals by a methane-based reactive ion beam etching technique" Physica B. vol.227. 415-418 (1996)
• [Publications] H.Kihara,R.Watanabe and T.Baba: "Lasing characteristics of strained-quantum well microdisk injection lasers" Proceeding of Optoelectronic and Communication Conference. no.16D1-2 (1996)
• [Publications] S.Niida,T.Tohyama,T.Baba and Y.Kokubun: "Precise control of vertical surface selective deposition (VSSD) of dielectric film by dual ion-beam sputtering technique" Proceeding of Optoelectronic and Communication Conference. no.18P-1 (1996)
• [Publications] K.IGA: "Possibility of Green/Blue/UV surface emitting lasers" International Symposium on Blue Laser and Light Emitting Diodes. (1996)
• [Publications] T.SHIRASAWA,T.HONDA,M.MORI,K.SAOTOME,A.KATSUBE,T.SAKAGUCHI,F.KOYAMA and K.IGA: "Dielectric Multilayer Reflector for ZnSe-Based Blue Surface Emitting Lasers" The International Symposium on Blue Laser and Light Emitting Diodes. We-P13. (1996)
• [Publications] K.SAOTOME,A.MATSUTANI,T.HONDA,F.KOYAMA and K.IGA: "Estimation of Etched Reflectivity of GaN-Based Semiconductor Lasers" The International Symposium on Blue Laser and Light Emitting Diodes. We-P26. (1996)
• [Publications] K.IGA: "Vertical cavity surface emitting lasers based on InP and related compounds--bottleneck and corkscrew--" Conterence on Indium Phosphide and Related meterials. (1996)
• [Publications] T.H.LOH,T.MIYAMOTO,T.TAKADA,F.KOYAMA and K.IGA: "Design and CBE growth of strain-balanced InAsP/InP/GaInP shortperiod superlattice for long-wavelength multi-quantum barriers" 8th Int.Conf.On Indium Phosphide and Related Naterials. WPC-19. (1996)
• [Publications] S.KATSURA,Y.KAWAGUCHI and K.IGA: "Novel laser level using a conical beam formation principle by a multimode fiber" CLEO'96. CWF51. (1996)
• [Publications] N.HATORI,T.MUKAIHARA,N.OHNOKI,A.MIZUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "N-type Modulation DopedStrained InGaAs/AlGaAs Quantum Well Lasers Grown by Metal Organic Chamical Vapor Deposition" Proc.of Conference on Lasers and Electro-Optics. JThC5. (1996)
• [Publications] N.OHNOKI,T.MUKAIHARA,N.HATORI,A.MIZUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "A Study on AlAs Oxide Confinement Structure for Long Wavelength Surface Emitting Lasers" The first optoelectronics and communications conf.16D1-3. (1996)
• [Publications] ^*K.IGA: "Progress of vertical cavity surface emitting lasers" OECC96 Invited. (1996)
• [Publications] N.OHNOKI,T.MUKAIHARA,N.HATORI,A.MIZUTANI,F.KOYAMA and K.IGA: "A Study on AlAs Oxide Confinement Structure for Long Wavelength Surface Emitting Lasers" The first optoelectronics and communications conf.16D1-3. (1996)
• [Publications] H.BISSESSUR,T.MUKAIHARA,F.KOYAMA and K.IGA: "Design of low-threshold oxide-confined vertical surface emitting lasers" OECC96. (1996)
• [Publications] H.BISSESSUR,T.MUKAIHARA,F.KOYAMA and K.IGA: "Modeling of low-threshold vertical cavity surface emitting lasers for optical interconnects" LEOS'96 Summer Topical Meeting. (1996)
• [Publications] Kenichi IGA and Susumu KINOSHITA: "Process Technology for Semiconductor Lasers Crystal Growth and Microprocesses" Springer-Verlag, (1996)
• [Publications] 伊賀健一: "面発光半導体レーザ;図解光デバイス辞典" オプトロニクス社, (1996)
• [Publications] 伊賀健一: "平板マイクロレンズ;図解光デバイス辞典" オプトロニクス社, (1996)
• [Publications] 伊賀健一: "現代応用電気数学" オーム社, (1996)
• [Publications] 伊賀健一: "光ファイバ通信入門" オーム社, (1996)
• [Publications] 伊賀健一: "光学素子の基礎と活用法,大井みさほ編" 日本分光会;学会出版センター, (1996)
• [Publications] 下河辺明 日本機械学会編: "超精密形状計測技術[(分担,三次元測定機による形状計測技術)]" コロナ社, 23 (1996)
• [Publications] 池上晧三(分担): "接着ハンドブック" 日本接着学会編 日刊工業新聞社, (1996)
• [Publications] T.Baba and T.Matsuzaki (Editor by J.Rarity and C.Weisbush): "Microcavities and Photonic Bandgaps" Kluwer Academic Publishers, 601 (1996)
• [Publications] 馬場俊彦,分担(大津元一,荒川泰彦編集): "量子工学ハンドブック" 朝倉書店, 400 (1997)