1996 Fiscal Year Annual Research Report
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08243227
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
坂 公恭 名古屋大学, 工学部, 教授 (90023267)
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| Keywords | 電顕内その場加熱実験 / 高分解能観察 / Si / SiC |
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| Research Abstract |
傾斜化プロセスの最適化のためには固体-固体、固体-液体、固体-気体間の反応の要素過程を理解することが必要である。本研究では最近開発した、1500℃という高温でも原子レベルでの高分解能その場観察が可能で、かつ元素分析が可能な電子顕微鏡内その場加熱ホルダーを用いて傾斜化過程の直接高分解能観察を試みた。
即ち、Siの粉末と黒鉛の粉末を同時に加熱フィラメント上に付着させ、1400〜1500℃に加熱し、Si+C*SiC反応によってSiCの合成を行った。加熱前後の電顕写真および回折図形の比較より、加熱前では単結晶Siの回折斑点と黒鉛のDebye ringが観察されるのに対して、加熱後には全く別の回折斑点が現れており、SiCが形成されたと結論した。一部では未反応のため黒鉛が残留しており、SiC/Cの傾斜化が達成されていた。これらの過程を高分解能観察し、傾斜化過程を原子レベルで明らかにした。
これらの成果は科学誌に論文として公表されるとともに、平成8年7月に開催された「第8回異相界面/粒界に関する国際会議」、および平成8年11月に開催されたMRSで発表した。また、平成9年1月にアリゾナ州立大学で開催された「界面の原子構造と化学に関するワークショップ」で招待講演を行った。
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[Publications] K.Sasaki and H.Saka: "Crystallographic analysis of grain boundary vibration induced by electron beam irradiation in CuGa2" Materi.Sci.Forum. 207/209. 449-552 (1996)
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[Publications] T.Kamino and H.Saka: "In-situ HREM heating experiments at very high temperatures" MRS Symp.Proc.404. 19-24 (1996)
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[Publications] T.Kamino,T.Yaguchi,M.Ukiana,Y.Yasutomi and H.Saka: "Application of HREM in situ heating experiments to the study of dynamical behaviour of grain boundaries at very high temperatures" Materi.Sci.Forum. 207/209. 489-492 (1996)
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[Publications] T.Kamino,T.Yaguchi,M.Tomita and H.Saka: "In-situ high-resolution electron microscopy study on a surface reconstruction of Au-deposited Si at very high temperature" Philosophical magazine,A. 75. 105-114 (1997)
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[Publications] K.Sasaki,H.Saka and T.Arii: "Vibrational motion of grain boundary in intermetallic compound induced by electron beam irradiation" Materials Transactions JIM. 37. 1037-1043 (1996)
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[Publications] T.Kamino and H.Saka (分担執筆): "Advances in Dynamic In-situ Electron Microscopy edited by P.L.Gai" Kluwer International Academic Publishers, 20 (1997)
