1996 Fiscal Year Annual Research Report
低域混成波を用いた大口径高密度プロセスプラズマの生成と診断
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08405006
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Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
橘 邦英 京都大学, 工学研究科, 教授 (40027925)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
久保 寔 京都大学, 工学研究科, 助手 (80089127)
八坂 保能 京都大学, 工学研究科, 助教授 (30109037)
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| Keywords | プラズマプロセス / 高密度プラズマ源 / 波動伝搬 / 低域混成波 / シミュレーション / プラズマパラメータ |
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| Research Abstract |
次世代の集積回路プロセスに必要なプラズマ源として、低域混成波の伝搬を利用した新しい概念のソースを開発することを目標として研究を進めている。すなわち、従来のプラズマ源の課題であった電力導入窓や器壁のスパッタリングによる汚染を低減し、高密度化と大口径での均一性を両立できる方式を確立するために、プラズマ中での波動の伝搬特性や電磁波からのエネルギー吸収過程を理論モデルに基づくシミュレーションによって予測し、アンテナの設計と磁場配置の設計に必要なパラメータを推定することによって、装置の寸法形状の決定や最適な電源周波数の選定を行った。
次に、その設計指針に基づいて低域混成波プラズマ装置を製作した。電源周波数としては、10〜30MHzの周波数領域を用いており、複数のリング状アンテナの位相差によって斜め伝搬する遅波(低域混成波)を励起し、共鳴領域近傍で電子プラズマ波にモード変換させることをねらった。種々のアンテナを用いた測定から、プラズマ中での波の分散関係を減衰率を求めることによって、低域混成波が伝搬していることを確認した。
また、生成さたプラズマについて、マイクロ波干渉法や電気探針法などを用いて、電子の密度やエネルギー分布、プラズマ電位などのプラズマパラメータの空間分解計測を行った。現在、実際のプロセスへの適用するために、エッチングに用いられるフロロカーボンプラズマ中で、反応の前駆体となるラジカルやイオンの定量測定を進めている。
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Research Products
(1 results)
