1997 Fiscal Year Annual Research Report
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08405010
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| Research Institution | University of Tsukuba |
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Principal Investigator |
青木 貞雄 筑波大学, 物理工学系, 教授 (50016804)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
青田 達也 筑波大学, 物理工学系, 助手 (20292526)
渡辺 紀生 筑波大学, 物理工学系, 助手 (80241793)
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| Keywords | 短波長軟X線 / X線顕微鏡 / 位相差コントラスト / ウォルターミラー |
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| Research Abstract |
ウォルターミラーの高分解能化・位相差像結像技術及び軟X線顕微鏡システムの開発に関して以下の研究を行なった。
ウォルターミラーの製作では、新たに導入したレプリカ作製装置でウォルターミラーを作製し表面形状の評価を行なった。この結果、表面荒さに関してはもとの母材よりもレプリカしたミラーの方が良くなる傾向にあることが明らかになった。ミラー母材の作製では、導入した CNC旋盤用制御プログラムを作成し切削テストを行なった。また、ミラー研削に関する基礎研究を行なった。
位相差光学系の開発に関しては、より試料からの位相情報の明確な軟X線ホログラフィーにおいて、そのホログラム再構成実験を行なった。分解能は1.4μm程度であったがほぼ理論的予測に対応した値が得られた。また、この光学系を利用したCTによる3次元再構成にも成功した。
顕微鏡システムの開発では、レーザープラズマ光源・ウォルターミラー及びズ-ミング管を用いた軟X線顕微鏡の結像テストをニコン(株)との共同研究で行なった。ウォルターミラーの全開口を用いた結像では、Taターゲットからの波長3nmの軟X線を用いて分解能1μm程度が得られた。しかし、ミラー形状誤差の影響を減らすために対物ミラー開口制限した実験では、特定の方向に関してはサブミクロンの分解能を得ることができている。
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Research Products
(2 results)
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[Publications] N.Watanabe 他: "Soft X-ray Gabor holography by use of a backilluminated CCD camera" Appl.Opt.36・29. 7433-7436 (1997)
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[Publications] 青木貞雄: "斜入射ミラーとX線顕微鏡への応用" 光学技術コンタクト. 35・4. 233-240 (1997)
