1997 Fiscal Year Annual Research Report
CaF2/P形ダイヤモンドMIS構造に固有の安定化界面の検証と高温FET応用
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08455020
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
小林 猛 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (80153617)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
牧 哲朗 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助手 (80273605)
藤井 龍彦 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 講師 (40238530)
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| Keywords | ダイヤモンド薄膜 / 表面・界面物理 / 弗化カルシウム / FET / エピタキシ- |
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| Research Abstract |
ボロンをドープしたp形ダイヤモンド半導体が比較的安定に作製できるようになり、ダイヤモンド・エレクトロニクスの可能性を求める声が一挙に高まりつつある今日、本研究ではエレクトロニクス応用に不可欠なダイヤモンド表面・界面の検討を進めた。
明らかになった諸事項を以下に列挙することとする。
(1)CaF2をゲート絶縁膜に使用することでかなり良好な界面特性を得ることが可能になった。
(2)上記の成果に関して、その物理作用に立ち入った研究を行った。その結果、アルカリ金属であるCaがダイヤモンド表面に吸着していた酸素をゲッター(還元)し、ついでフッ素イオンがカーボン原子に直接結合する、というモデルが得られた。吸着酸素が表面準位を形成していた訳で、それを除去すると同時にフッ素原子で終端させたことが成果につながった、とみている。
(3)上記の結果に基づき、ダイヤモンドMISFETの実現を図った。
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[Publications] 小林 猛: "Thin film CaF2 stabilizing effect on single-crystal diamond surface" Appl.Surface Science. 117/118. 570-573 (1997)
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[Publications] 小林 猛: "Cathodoluminescence measurement of CVD diamond surface" Appl.Surface Science. 117/118. 578-581 (1997)
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[Publications] 牧 哲朗: "Hall Effect Measurement and Band Bending Calculation of Hydrogenated Diamond Thin Films Grown by Chemical Vapor Deposition" Jpn.J.Appl.Phys.38. 3414-3417 (1997)
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[Publications] 牧 哲朗: "Prospect of Semiconducting Diamond Electronics" Diamond Films and Technology. 6-4. 199-216 (1996)
