1996 Fiscal Year Annual Research Report
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08455113
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
池田 雅夫 大阪大学, 工学部, 教授 (00031146)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
藤岡 久也 大阪大学, 工学部, 助手 (60273596)
太田 快人 大阪大学, 工学部, 助教授 (30160518)
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| Keywords | 振動制御 / 制御系設計 / モデリング / ロバスト制御 / システム構造 |
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| Research Abstract |
複雑機器・構造体の超精密微振動制御のために,実験面と理論面で以下の研究を行った.
まず,実験面では,半導体露光装置や電子顕微鏡などの精密機器を床からの振動から絶縁するために開発された空気バネ式除振台を対象として,そのダイナミクスのモデリングを行い,得られたモデルに従来の制御法を適用して,性能を把握した.そして,台上での装置の動きによって生じる振動を抑制するフィードフォワード制御の有効性を確認した.また,従来,問題がないと考えられていた低周波域において,水平方向のコンプライアンスが大き過ぎるという問題点を発見した.この問題の解決は来年度の課題である.
理論面では,動作環境が変化する制御対象を補間モデルによって記述する方法を確立し,そのような補間モデルを補間コントローラで安定化する方法の代表的動作点における基準モデル数が3以上の場合への拡張を行った.また,空気圧による制御遅れのもとでのロバスト制御法の研究,物理パラメータを保存するディスクリプタ表現に基づく安定化や,超精密微振動制御の場合に特に問題となるであろうコントローラのサンプリング時間,観測データから操作信号を計算するに要する時間,A/D変換器のビット数等の問題を含めた最適ディジタル制御法の研究を行った.さらに,除振台の制御と台上の装置の制御を別々に行いながら,全体の制御性能を達成するような分散制御の計算法を開発した.
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[Publications] 村松鋭一: "既約分解アプローチによる補間モデル集合の安定化-動作環境が変化するプラントのロバスト制御-" 計測自動制御学会論文集. 32・6. 835-843 (1996)
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[Publications] 上里英輔: "ディスクリプタシステムの2次安定化" システム制御情報学会論文誌. 9・7. 313-321 (1996)
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[Publications] IC.Hwang: "Hankel singular values of non-commensurate input delay systems" システム制御情報学会論文誌. 9・8. 375-382 (1996)
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[Publications] 村松鋭一: "動作環境が変化する制御対象のモデリング-既約分解アプローチによる補間モデル-" 計測自動制御学会論文集. 32・11. 1501-1509 (1996)
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[Publications] M.Yasuda: "Feedforward control of a vibration isolation system for disturbance suppression" Proc.35th IEEE Conference on Decision and Control. 1229-1233 (1996)
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[Publications] 藤岡久也: "対称システムのサンプル値H_2制御" システム制御情報学会論文誌. 10・1. 33-40 (1997)
