1996 Fiscal Year Annual Research Report
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08555017
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Section | 試験 |
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| Research Institution | Nagoya Institute of Technology |
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Principal Investigator |
奥山 文雄 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30024235)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
若元 郁夫 三菱重工(株), 技術本部, 主務
杉江 紘 名古屋工業大学, 工学部, 助手 (40024327)
種村 眞幸 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (30236715)
北 重公 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (60006153)
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| Keywords | X線カメラ / フィールド・エミッション / スパッタリング |
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| Research Abstract |
X線“影"を映し出すことによって、検体の非破壊検査を行う“X線カメラ"(XRC)は、従来、一次放射線(電子)源に、大容積の加熱電源を必要とする熱電子源を用いるため、概して大型である上に、移動のできない“固定型"が大半を占める。近年、“ハイテク"産物の検査を目的とするコンパクトXRCへの関心が高まりつつあり、これに答え得る技術の開発が産・学に求められている。本研究は、このような社会的要請を考慮し、三菱重工(株)との共同研究として企画されたものである。具体的には、加熱電源を必要としないフィールド・エミッション(FE)源を一次放射線とする、コンパクトかつポ-タブルなXRCの開発を目的とし、平成8年度には、1)装置(FE Xray発生装置)の設計・製作及び、2)全体システムの組み立て・調整が計画されたが、これらは、平成9年1月をもって終了した。装置の主な仕用は以下の通りである。
1)電子ビーム加速電圧 80kV
2)電子ビーム加速モード 後段加速
3)電子ビーム収束方式 グレーザー方式
4)到達真空度 10^<-8>Pd
5)ターゲット アルミニウム
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