1998 Fiscal Year Annual Research Report
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08555017
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| Research Institution | Nagoya Institute of Technology |
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Principal Investigator |
奥山 文雄 名古屋工業大学, 工学研究科, 教授 (30024235)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
若元 郁夫 三菱重工, 技術本部, 主務
杉江 紘 名古屋工業大学, 工学部, 助手 (40024327)
種村 眞幸 名古屋工業大学, 工学研究科, 助教授 (30236715)
北 重公 名古屋工業大学, 工学部, 教授 (60006153)
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| Keywords | X線カメラ / フィールド・エミッション / X線工学 / 真空マイクロエレクトロニクス |
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| Research Abstract |
本研究は、“多重電界陰極"(multiple field cathode,MFC)を電子源とする“X線カメラ"(XRC)システムの試作を目的としたものである。本システムの基本構成は、1)XRC本体、2)電子源及び3)排気系であり、それぞれの概略は以下の通りである。
1. XRC本体
XRCチャンバー外壁はステンレススチールから成り、7ヶ所に内部との接続ならびに内部観察を用途とするポートが設けられている。チャンバーには、X線発生源であるアルミターゲット、電子ビーム収束レンズ(Glazarレンズ)、Glazerレンズ冷却システムが内蔵されている。
2. 電子源部
電子放射源であるFEエミッターは、主真空を破ることなく交換でき、またその位置は、マニビュレーターによって精密に調整される。エミッターから放出された電子は、いわゆる、“bipotential lens system"による収束後、Glazerレンズに入射する。
3. 排気系
装置の主排気は、2基のターボモレキュラーポンプ(排気速度:1901/sec)で行う。到達圧は、10^<-7>Torr台の後半である。
なお、本研究で使用したMFCは、透過電子顕微鏡試料支持用のMoメッシュをハサミ切断した“mesh emitter"(ME)である。このMEを電子源として、生物試料(煮干)の、見事なX線像を得ることができた。現在、この成果を国際的な学術に公表するための準備を進めているところである。
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