1998 Fiscal Year Annual Research Report
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08555074
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| Research Institution | NAGOYA UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
綱島 滋 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (80023323)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
加藤 剛志 名古屋大学, 工学研究科, 助手 (50303665)
岩田 聡 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (60151742)
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| Keywords | 光磁気記録 / 磁気光学効果 / 光導波路 / 光ヘッド / 近接場光 / Kerr回転角 |
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| Research Abstract |
本年度は,光導波路の作製のための微細加工プロセスについて検討するとともに,導波の作製を試みた。また,0.1ミクロン以下の記録を行う場合について,その記録状態が安定に存在しうるかどうかを計算機シミュレーションによって検討した。以下に本年度に行った研究成果をまとめる.
1) 導波路用の材料としてTa_2O_5膜を選定し,Ta_2O_5膜の成膜を高周波2極スパッタリンク装置によって行った。成膜は,Ar中およびAr+O_2プラズマ中で行い,プラズマ中の酸素濃度,スパッタ圧,また,成膜温度をパラメータとした。作製した膜にポジレジストを塗布し,ガラス基板上に形成したCrメッキの微細パターンを半導体用のマスクアライナーによって導波路パターンを焼き付けた。現像後,ECRプラズマエッチング装置によってArプラズマ中でエッチングを行ない,導波路を作製した。顕微鏡観察では,導波先端の幅は2μであった。
2) 計算機シュミレーションによってどの程度の小さな磁区が光熱磁気記録できるか,また,小さな磁区を書き込むためには磁気異方性の値やその温度特性がどのようなものであることが必要があるかなどについて検討を行った。磁区径が0.5μを切った場合には,シミュレーションにおいて磁壁幅を考慮する必要があることがわかった。その結果,光ビーム径を0.1ミクロンに絞ることによって0.15〜0.2ミクロンの微小磁区が書き込むことができることが明らかとなった。
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[Publications] 深江文博: "MnPt3/CoPt3 人工格子の磁気及び磁気光学特性" 日本応用磁気学会誌. 22. 317-320 (1998)
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[Publications] T.Kato: "Magneto-Optical Spectra of Ultrathin Co Films Sandwiched by Pt Layers" J.Magn.Soc.Jpn.22-S2. 201-204 (1998)
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[Publications] T.Kato: "Perpendicular Magnetic Anisotropy and Magneto-Optical Spectra of MBE Grown MnPt3/Co" J.Magn.Soc.Jpn. 22-S2. 85-88 (1998)
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[Publications] X.Y.Yu: "Simulation of Thermomagnetic Recording in Rare Earth-transition Magnetic Film Using Very Small Laser Spot" J.Magn.Soc.Jpn.22-S2. 129-132 (1998)
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[Publications] Y.Fujiwara: "Simulation of Structural Anisotropy in Rare-Earth Transition Metal Multilayers" J.Magn.Magn.Mat.177-181. 1173-1174 (1998)
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[Publications] T.Kato: "Magneto-Optical Spectra of(Mn1-xMx)Pt3(M=Fe,Co)Ordered Alloy Films" J.Magn.Magn.Mat.177-181. 1427-1428 (1998)
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[Publications] T.Kato: "Magneto-Optical Properties of MBE-Grown CoPt Alloy Films with L10 and L11 Ordered Structures" J.Magn.Soc.Jpn.23-S1(掲載予定). (1999)
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[Publications] Y.Fujiwara: "Structure and MCD Effect of Rare-Earth-Transition Metal Amophous Multilayers" J.Magn.Soc.Jpn.23-S1(掲載予定). (1999)
