1996 Fiscal Year Annual Research Report
非線形誘電率顕微鏡の高分解能化の達成とその誘電体記録への応用
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08650066
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| Research Institution | Yamaguchi University |
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Principal Investigator |
長 康雄 山口大学, 工学部, 助教授 (40179966)
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| Keywords | 走査型非線形誘電率顕微鏡 / 強誘電分極ドメイン / 強誘電体記録 |
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| Research Abstract |
本研究によって得られた成果は下記のように2つに大別される.
(1)走査型非線形誘電率顕微鏡用高分解能プローブの開発とそれを用いた強誘電分極ドメインの計測.
集中定数型LC共振器を用いた超小型のプローブを開発し,分解能を2〜3μmφ程度まで向上させる事に成功した.また,これをサブミクロンまたはそれ以下の大きさの分極ドメインを観察するのに十分なまで高めるため電界研磨でとがらせたタングステン針を用いた集中定数型プローブも開発した.
上記プローブを用いて,LiNbO_3やLiTaO_3単結晶基板中にストライプ状に作られた非常に微細な分極反転層や,PVDF膜中のドメインを観測することに成功した.
(2)走査型非線形誘電率顕微鏡の強誘電体記録への応用に関する実験的検討.
本顕微鏡は純電気的方法で強誘電体中に記録された永久分極を読みとることができ,過去誰も達成できなかった実用的強誘電体に記録に対して大きな可能性を持っている.そこで具体的には,上記集中定数型走査型非線形誘電率顕微鏡用プローブを再生装置用ピックアップに改造し,これを用いて回転ディスク上に着けた強誘電体に記録された分極を実時間で読み取り,時間的な信号として再生する基礎実験を行った.その結果本顕微鏡のプローブは強誘電体記録の再生装置として使用できることが明らかになった.また記録媒体や再生システムに要求される仕様も明らかになった.
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[Publications] Yasuo Oho,Sigeyuki Atsumi and Kiyoshi Nakamura: "Scanning nonlinear dielectric microscope using a lumped constant resonafor probe and its application to investigation of ferroelecteic polarization disteibutions" Jpn.J.Appl.Phys.36・5. (1997)
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[Publications] Y.Oho,A.Kirihara and T.Saeki: "Scanning nonlinear dielectric microscope" Rev.Sci.Instrum. 67・6. 2297-2303 (1996)
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[Publications] Y.Oho,A.Kirihara and T.Saeki: "Observation of ferroelectric polarization in the noncontact mode of a scanning nonlinear dielectric microscope" Jpn.J.Appl.Phys.36・1. 360-263 (1997)
