1996 Fiscal Year Annual Research Report
超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究
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08650131
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
青山 尚之 静岡大学, 工学部, 助教授 (40159306)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岩田 太 静岡大学, 工学部, 助手 (30262794)
佐々木 彰 静岡大学, 工学部, 教授 (80022309)
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| Keywords | ミニロボット / 微細加工 / 蒸着 / 精密位置決め / 半導体材料 |
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| Research Abstract |
1.超小型加工および薄膜制御機器の設計・試作
これまでに圧電素子と電磁石による超小型ロボットの基本的構造に関する設計方法は確立しており、種々の微細作業機器を搭載することで必要な機能を容易に実現できる。真空中での精密動作を保証するための基礎的なデータの収集完了しており、高真空中で精密動作する超小型自走機械を開発した。本年度はこの超小型自走機械にマイクロダイヤモンド切削工具と局所的薄膜制御機構を搭載し、微細領域での材料除去・堆積による微小要素の生成を試みた。
その結果、次のような基礎実験結果が得られた。
(1)マスクを保持した超小型機械と試料を保持したそれを相対的に精密位置決めできた。
(2)その上で、蒸着を繰り返すことで、微細な金属薄膜パターンの連続生成に成功した。
(3)また金属材料も別の自走機械が取得し、蒸着源に挿入することで種々の材料の蒸着が可能になった。
(4)熱処理機器も設置し、材料の熱拡散による改質操作も可能になった。
次年度は高真空容器(現有)内にスパッタ技術により準備した薄膜材料片を設置し、この試料に対して超小型自走機械が所定の位置に接近し、機械的材料除去微細加工と蒸着制御動作を試みる。
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[Publications] H.Aoyama: "Miniature Robots for a Desktop Micro Manufactoring System" IEEE Control Systems. Vol 16,No.1. 6-12 (1996)
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[Publications] F.IWATA,H.Aoyama: "Application and Development of Scanning Probe Microscopy" Proc.of 3rd Int.Symp.Mes.Tech & Intel,Instrum. 1. 468-473 (1996)
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[Publications] Z.Shi,H.Aoyama: "Forcosting Control Based on AR (p) Model & Its Application" Proc.of 3rd Int.Symp.Mes.Tech & Intel,Instrum. 1. 163-165 (1996)
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[Publications] Z.Shi,H.Aoyama: "An Appropriate Model for Prediction Control of Nonlinear Signal" Proc.of 3rd Int Symp.Mes Tech & Intel Instrum. 1. 166-169 (1996)
