1997 Fiscal Year Annual Research Report
歯車形工具の切刃面形状精度の斜入射レーザ干渉法による非接触測定
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08650173
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| Research Institution | KYOTO UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
藤尾 博重 京都大学, 工学研究科, 助教授 (90026097)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
久保 愛三 京都大学, 工学研究科, 教授 (10027899)
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| Keywords | 斜入射干渉法 / レーザ / シェービングカッター / 位相 / 位相接続 / 画像処理 / デジタルデータ / CCDイメージセンサー |
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| Research Abstract |
1.レーザ干渉法によりシェービングカッターの歯面形状精度を得るために測定手法およびデータ処理に関する基本技術の構築をはっかた.
1.1測定,データ処理において解決すべき問題として,(1)ランド部と溝部の分離,(2)各ランド部内の位相接続,測定領域全体の形状偏差に相当する位相への補正方法の確立,(3)シェービングカッターがホローリ-ド形状をもつことにより,1回のビームの照射による測定領域が制限を受けるなどが挙げられる.
1.2(1)に関して,干渉縞像の輝度情報を位相,2値データに変換して,これを作用平面上に展開する.この状態で,ある列(歯形)方向に対して,2値データの閾値によりランドと溝部の区別をはかる方法を開発した.
1.3位相接続(2)について,各ランド部のリ-ド方向の形状による勾配の大きさ,向きに着目し,隣接するランド部に与える位相の補正値を推定する方法を提示した.
1.4干渉縞像の入射側半分では,ランド部と溝部の判定は1.2によっても不可能である.これへの対処として,ワークの干渉測定機上への装着を上下反転させて測定領域の分割し,それぞの干渉縞像の位相データを作用面上で接続させて測定領域の拡大をはかる方法を開発した.
これらの方法により測定対象全領域の形状偏差を得ることが可能となった.
なお,歯車形工具の1種であるホ-ニング用砥石工具の歯面形状を側定するための基礎実験として,平面験片上のエメリ-紙上にアルミナ粉を塗布し,レーザビームを照射して,反射光が得られるか検証したが,明確な反射光は全く得ることができなかった.その原因は光源のエネル-密度が低いことにもとづくと考えられる.
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