ナノスケールワールドへの新しいエキゾチックプラズマの探索研究

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 08874038
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
• Keywords: ナノスケールワールド / エキゾチックプラズマ / マイクロスケールプラズマ / ピエゾアクチュエーター / リソグラフィー / プラズマ環境STM / プラズマ-固体界面

Research Abstract

(1)リソグラフィー電極を用いたマイクロスケールプラズマの発生
半導体リソグラフィー技術により、作製したミクロンオーダーのギャップ電極を用いプラズマの発生に成功した。プラズマ生成におけるパッションのルールのマイクロスケールの世界での成立を確認するなどマイクロスケールでのプラズマ発生法の大きな手法となることが期待される。
(2)プラズマ環境STMの開発
プラズマの極小領域(ナノワールド)物性以下のような新たな要素技術の開発を行ない、その集積としてのプラズマ環境STMのを完成させた。
(A)プラズマ環境STM用プローブ(ガラス被覆/先端数μm露出/Pt-Ir製)の開発
(B)プラズマ環境STM用耐高電圧(1kV)高精度(10fA)電流計の開発
(C)プラズマ環境STM用チャンバー(2重防振構造)の作製
(D)プラズマ環境STM用コンパクト高周波(440MHZ)プラズマ発生装置の作製
上記装置を用い、STMの標準試料であるHOPG高配向性グラファイトのプラズマ照射下でのSTM観察を行ない、ナノステップ像および格子像観察に成功を収めた。プラズマ環境下での固体表面のナノ構造STM観察に成功した本研究は、ナノスケールでの固体-プラズマ界面研究の新たな扉を切り開くものである。

Research Products

• [Publications] Y.Takamara, K.Hayasaki, K.Terashima, T.Yoshida: "Clastor size measurement using micro trench in a thermal plasma foash evaporation process" Journal of Vacuum Science & Technology B. V15,3. 558-565 (1997)