マイクロメカトロニクス・システムにおける3次元マイクロ構造製作プロセスの研究

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09044135
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 原島 文雄 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60013116)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): LEE KokーMeng ジョージア工科大学, 機械工学科, 助教授 ; SCHIMIDT gun ミュンヘン工科大学, 制御工学科, 教授 ; GAGNEPAIN Je フランス科学技術庁, 工学部門, 部長(研究職) ; 藤田 博之 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (90134642) ; 増沢 隆久 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60013215)
• Keywords: マイクロメカトロニクス / 3次元マイクロ装置 / MEMS / ナノ / マニピュレーション / プロセス / マイクロ・アクチュエータ / マイクロ・モータ

Research Abstract

平成9年度の研究計画に基づき、日本、米国、フランス、ドイツの複数の研究者がお互いに訪問しあい、3次元マイクロ構造の選定、製作プロセスの検討及び応用システムの検討に関して活発な意見交換と実システムに於けるシミュレーション等の共同研究を行った。なお、これらの研究成果は国際会議、ワークショップ、等において発表される高い評価を得ている。特にマイクロ領域で重要な役割を果たすナノレベルのマニピュレーションという新しい研究課題を抽出し、本研究計画の枠組みの中で日・仏共同研究の一つとして確立する事ができた。これは、本研究のみならずマイクロ・メカトロニクス全般に渡って大きなインパクトを与えつつあり、真に国際共同研究として、更なる伸展が期待される。

Research Products

• [Publications] S. Konishi: "Three Dimensional Wire Array for Connection between Multy Layers" Trans. IEE Japan. 117-E. (1997)
• [Publications] Y. Fukuta: "The Reshaping Technology for Three Dimensional Polysilicon Microstructures" Trans. IEE Japan. 117-E. (1997)
• [Publications] T. Akiyama: "Scratch Drive Actuotor with Mechanical Links for Self Assembly of Three Dimensional MEMS" IEEE J. Microelectromechanical Sys.6 10. (1997)