1997 Fiscal Year Annual Research Report

半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

Research Project

Project/Area Number	09247227
Research Institution	The University of Tokushima
Principal Investigator	伊永隆史徳島大学, 総合科学部, 教授 (30124788)
Keywords	フッ素 / 処理技術 / 廃棄物 / 半導体製造 / 排水処理 / ゼロエミッション / エコテクノロジー / 先端産業
Research Abstract	半導体生産関連プロセスのフッ化水素系洗浄排水のフッ素完全除去に適用可能なカラム処理技術の開発を目指し、CaF_2,フッ素アパタイト等をセラミック焼結時に含有させ、フッ素完全除去機能を持つセラミック焼結体を十数種類合成した。 CaF_2含有セラミックの作製は、市販ホタル石(CaF_2)を粉砕紛糾したものとシリカ粉末(SiO_2)をそれぞれ組成を変えて結合した後、多孔質化材としてスチロール樹脂粉末、バインダーとしてサンサルを加える。ペレット状に抽出成形したり、球状に丸めたりした後、約1200℃で焼成して、均一形状のセラミック材料が得られた。フッ素アパタイト・骨粉等を混入した。同様に焼成したセラミック材料も加え、フッ素含有排水との反応特性の実験解析と特性評価を実施した。 Caf_2沈殿反応系ヘリン酸態を共存させることによって、難溶性のフッ素アパタイトが容易に生成しフッ素アパタイト含有セラミック上に、エピタキシャルに新しいアパタイトが成長する。この反応は、歯の表面に歯石が蓄積する生体反応を模倣したものである。類似の結晶成長現象がセラミック表面で起こるので、充填カラムを用いたフッ素排水の通液実験では、破過が起こるのか否かの観察も含め、破過に至るまでの通液実験とセラミックの再生実験を種々実施する必要があることを認めた。また、今回行った実験結果から、カラム法の方がバッチ法に比べフッ素除去に効果的に働くことが明らかになったが、その理由は接触効率が良いことがあげられる。

Research Products

(8 results)

All Other

All Publications (8 results)

[Publications] 伊永隆史、中村隆則: "半導体生産プロセスのフッ素完全除去" 資源環境連合部会研究発表会論文集. 5. 5-8 (1997)
[Publications] Yang,Y., Lu,Q., Cao,J., Wang,G., Men,R., Korenaga,T.: "Determination of Iron (III) with Methylene Blue by Stopped-flow Photochemical Analysis" Analytical Sciences. 13. 63-66 (1997)
[Publications] Zhang,X., Yang,Y., Du,Y., Zeng,Y., Huang,H., Cal,R., Korenaga,T.: "Micelle Enhanced Spectrofluorimetric Determination of L-ascorbic Acid Based on Laccase-linked Coupling Reaction Using Flow-injection Stopped-flow Technique" Analytical Sciences. 13. 67-70 (1997)
[Publications] Huang,Z., Huang,H., Cai,R., Lin,Z., Korenaga,T., Zeng,Y: "Fluorescence Investigation of Some Fluoroquinolones in Various Media Ground-State Acid-Based Equilibra" Analytical Sciences. 13・13. 77-80 (1997)
[Publications] Zhang,X., Yang,Y., Korenaga,T.: "Determination of Polynuclear Aromatic Hydrocarbons (PAHs) in Environmental Samples by Capillary Electrophoresis" Analytical Sciences. 13-13. 235-238 (1997)
[Publications] Levy,J., Lee,K., Spengler,D,J., Korenaga,T., et al.,: "Impact of Residential Nitrogen Dioxide Exposure on Personal Exposure" An International Study. Air and Waste Management. 48(印刷中). (1998)
[Publications] 伊永隆史: "ぶんせき" 日本分析化学会, 317 (1997)
[Publications] 伊永隆史: "環境分析" 日立製作所計測器事業部, 18 (1997)

1997 Fiscal Year Annual Research Report

半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

Principal Investigator

伊永 隆史 徳島大学, 総合科学部, 教授 (30124788)

Research Products

[Publications] 伊永隆史、 中村隆則: "半導体生産プロセスのフッ素完全除去" 資源環境連合部会研究発表会論文集. 5. 5-8 (1997)

[Publications] Yang,Y., Lu,Q., Cao,J., Wang,G., Men,R., Korenaga,T.: "Determination of Iron (III) with Methylene Blue by Stopped-flow Photochemical Analysis" Analytical Sciences. 13. 63-66 (1997)

[Publications] Zhang,X., Yang,Y., Du,Y., Zeng,Y., Huang,H., Cal,R., Korenaga,T.: "Micelle Enhanced Spectrofluorimetric Determination of L-ascorbic Acid Based on Laccase-linked Coupling Reaction Using Flow-injection Stopped-flow Technique" Analytical Sciences. 13. 67-70 (1997)

[Publications] Huang,Z., Huang,H., Cai,R., Lin,Z., Korenaga,T., Zeng,Y: "Fluorescence Investigation of Some Fluoroquinolones in Various Media Ground-State Acid-Based Equilibra" Analytical Sciences. 13・13. 77-80 (1997)

[Publications] Zhang,X., Yang,Y., Korenaga,T.: "Determination of Polynuclear Aromatic Hydrocarbons (PAHs) in Environmental Samples by Capillary Electrophoresis" Analytical Sciences. 13-13. 235-238 (1997)

[Publications] Levy,J., Lee,K., Spengler,D,J., Korenaga,T., et al.,: "Impact of Residential Nitrogen Dioxide Exposure on Personal Exposure" An International Study. Air and Waste Management. 48(印刷中). (1998)

[Publications] 伊永隆史: "ぶんせき" 日本分析化学会, 317 (1997)

[Publications] 伊永隆史: "環境分析" 日立製作所計測器事業部, 18 (1997)

伊永隆史徳島大学, 総合科学部, 教授 (30124788)

[Publications] 伊永隆史、中村隆則: "半導体生産プロセスのフッ素完全除去" 資源環境連合部会研究発表会論文集. 5. 5-8 (1997)