1997 Fiscal Year Annual Research Report
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09305013
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Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
塚田 忠夫 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 教授 (00016437)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高橋 正明 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 助手 (00179524)
笹島 和幸 東京工業大学, 大学院・情報理工学研究科, 助教授 (80170702)
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| Keywords | 形状測定 / マルチスケール / 画像計測 / 干渉計測 / スティッチング / 表面粗さ / 平面度 / 顕微鏡 |
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| Research Abstract |
本研究では、機能面の形状情報をマルチスケール的考え方で統一して記録・保存し、要求に応じて任意のスケールで再生できる形式の提案と、そのための形状測定システムを高分解能の高精度画像読取り形式の測定ユニットとそのスキャニングシステムによるワイドレンジ測定システムとして開発することを行なう。すなわち、機器開発に関しては高周波領域のデータを高精度・高分解能で高速測定する装置を、特に高速測定の点から画像読取り方式の測定顕微鏡で実現させ、これを機能面全体の測定領域でスキャンさせることにより、ワイドダイナミックレンジの測定を実現させる。ここで問題となるのは、スキャンさせた各領域のデータの接続と保存法である。接続法については機器の精度および相関技術によって行なう方法を実現する。一方、保存法については、高密度データの圧縮と、マルチスケールなデータの取り扱いを考慮して、新方式を採用する。その考え方は、人間の感性や認識特性に合致したものであり、現在主流のJPEGやMPEGの画像圧縮法よりさらに進んだFlashPixフォーマットに類似したものである。
2年計画の初年度に当たる本年度は、基本的実験システムを作成し、測定実験により得られた実データに基づいて、各微小領域のデータの接続法に関する検討を行なった。
研究は概ね予定通り実施された。本研究で採用した画像読取り方式の測定システムの基本性能を確認し、併せて試料を走査させるテーブルの運動精度を検証した。その運動精度範囲内では接続を行なわせる最適化手法は単峰であることが実験的に確認され、データの接続がうまく行なえることが裏付けられた。
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