1997 Fiscal Year Annual Research Report

学習機能を有する積層型マイクロ視覚情報処理システム

Research Project

Project/Area Number	09305023
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	小柳光正東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	柳基鎬東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (20270811) 栗野浩之東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (70282093) 羽根一博東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893) 江刺正喜東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)
Keywords	視覚情報処理 / リアルタイム / 学習機能 / 連想機能 / ニューラルネットワーク / 並列処理 / 3次元積層技術 / 張り合わせ技術
Research Abstract	学習機能を有する積層型マイクロ視覚情報処理システムを構築することを目的として基本技術の検討を行い、以下のような成果を得た。 1.積層型マイクロ視覚情報処理システムのシステム概略設計を行い、性能予測を行った。その結果、性能が2桁以上改善される見通しを得た。 2.ニューラルネットワークの基本回路設計・評価を行い、連想動作が可能であることをシミュレーションにより明らかにした。 3.積層型マイクロ視覚情報処理システムの試作に必要な積層化技術について、多層実装アライナーを用いてシリコンウェーハを±1μmの精度で位置合わせを行った後、積層化する技術を確立した。 4.マイクロマシンの立体加工技術を利用して、プラズマ微細加工装置により多層構造をもつ積層型マイクロ視覚情報処理チップの層間埋め込み配線を形成するための深溝(2μm径、深さ20〜30μm)を形成する技術と、上下の埋め込み配線どうしを接続するためのメタル・マイクロバンプ技術を確立した。 5.積層型マイクロ視覚情報処理システムのための専用マイクロプロセッサを設計し、テストチップを試作して良好な動作を確認した。

Research Products

(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] T.Matsumoto: "New Three-Dimensional Wafer Bonding Technology Using Adhesive Injection Method" Extended Abstracts of the 1997 International Conference on Solid State Devices and Materials. 460-461 (1997)
[Publications] T.Matsumoto: "Polyimide Optical Waveguide with Multi-Fan-Out for Multichip Module Application" Proceedings of the 27th European Solid-State Device Research Conference. 276-279 (1997)
[Publications] H.Kurino: "Three-Dimensional Integration Technology for Real Time Micro-Vision System" 1997 Proceedings of the International Conference on INNOVATIVE SYSTEMS IN SILICON. 203-212 (1997)
[Publications] K.Hirano: "A New Multiport Memory for High Performance Parallel Processor System with Shared Memory" Proceedings of the Workshop on Synthesis and System Integration of Mixed Technologies '97. 168-175 (1997)
[Publications] M.Koyanagi: "Multi-Chip Module with Optical Interconnection for Parallel Processor System" 1998 IEEE International Solid-State Circuits Conference Digest of Technical Papers. 92-93 (1998)
[Publications] K.Hirano: "A New Multiport Memory for High Performance Parallel Processor System with Shared Memory" Proceedings of the Asia and South Pacific Design Automation Conference 1998. 333-334 (1998)
[Publications] 小柳光正: "光コンピューティングの事典-「9.3ボード間光インターコネクション」、「9.4チップ間・内光インターコネクション」" 朝倉書店, 348-368 (1997)

1997 Fiscal Year Annual Research Report

学習機能を有する積層型マイクロ視覚情報処理システム

Principal Investigator

小柳 光正 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)

Research Products

[Publications] T.Matsumoto: "New Three-Dimensional Wafer Bonding Technology Using Adhesive Injection Method" Extended Abstracts of the 1997 International Conference on Solid State Devices and Materials. 460-461 (1997)

[Publications] T.Matsumoto: "Polyimide Optical Waveguide with Multi-Fan-Out for Multichip Module Application" Proceedings of the 27th European Solid-State Device Research Conference. 276-279 (1997)

[Publications] H.Kurino: "Three-Dimensional Integration Technology for Real Time Micro-Vision System" 1997 Proceedings of the International Conference on INNOVATIVE SYSTEMS IN SILICON. 203-212 (1997)

[Publications] K.Hirano: "A New Multiport Memory for High Performance Parallel Processor System with Shared Memory" Proceedings of the Workshop on Synthesis and System Integration of Mixed Technologies '97. 168-175 (1997)

[Publications] M.Koyanagi: "Multi-Chip Module with Optical Interconnection for Parallel Processor System" 1998 IEEE International Solid-State Circuits Conference Digest of Technical Papers. 92-93 (1998)

[Publications] K.Hirano: "A New Multiport Memory for High Performance Parallel Processor System with Shared Memory" Proceedings of the Asia and South Pacific Design Automation Conference 1998. 333-334 (1998)

[Publications] 小柳光正: "光コンピューティングの事典-「9.3ボード間光インターコネクション」、「9.4チップ間・内光インターコネクション」" 朝倉書店, 348-368 (1997)

小柳光正東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)