1997 Fiscal Year Annual Research Report
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09355004
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
渡辺 誠 東北大学, 科学計測研究所, 教授 (00025397)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
江島 丈雄 東北大学, 科学計測研究所, 助手 (80261478)
柳原 美廣 東北大学, 科学計測研究所, 助教授 (40174552)
山本 正樹 東北大学, 科学計測研究所, 助教授 (00137887)
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| Keywords | 顕微分光計 / シュワルツシルド縮小光学系 / 真空紫外 / 吸収 / 反射 / 蛍光 / 光電子分光 |
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| Research Abstract |
新しい物質を探索する上でその物質の基礎吸収端領域の光学的性質を調べることは、その物質の同定、不純物・キャリア濃度の見積り、電子構造の解明などのために不可欠である。しかもバンドキャップの大きい物質に対しては真空紫外域まで測定領域を広げる必要がある。しかし、新しい物質を合成する過程では、はじめから通常の光学測定に耐えるだけの大きさを持ったものを育成できるこよは希である。従って本研究の目的は、可視・紫外から本来の真空紫外(200nm〜数10nm)にわたる波長領域において、吸収、反射、蛍光および光電子の測定が微小試料に対して行える複合顕微分光計を、設計・製作することである。
この複合顕微分光計では、凹画鏡、凸画鏡及び入射ピンホールの組み合わせによるシュワルツシルド縮小光学系を用い、結像スポットを固定して試料を移動・走査2する方式を採った。そして試料を液体窒素温度まで冷却できるクライオスタットを真空容器中で移動(微動)をできるように設計した。
年度初めに試料を移動する機構および真空容器、試料測定層の組立図を完成させ、6月には必要部品のポンプ類、ゲージ類、バルブ類、ステージの電子部品、防振ゴムなどすべてを発注した。金属加工は科学計測研究所の付属工場で行い、年末に加工を完了した。シュワルツシルド光学系および試作測定層に付帯する購入物品と組み合わせ、年度末には組立・調整および排気テストを完了した。シュワルツシルド光学系の凹画鏡、凸画鏡も付属工場で製作し、その表面にMgF_2/AIを蒸着した。ナイフエッジテストにより結像スポットの大きさの評価を行い、約15μmのスポット径が得られていることを確認した。この値は最終的には満足する値ではないので、2年後には1桁小さくする予定である。
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