Si(111)-7×7構造自己組織化過程における不純物原子の影響

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09450022
• Research Institution: Waseda University
• Principal Investigator: 大泊 巌 早稲田大学, 理工学部, 教授 (30063720)
• Keywords: Si(111)7×7 / 自己組織化 / STM / RHEED / その場観察 / 極高真空 / 構造相転移 / 酸素

Research Abstract

Si(111)表面上に形成される7×7構造の形成過程の過渡現象、及び7×7構造形成過程に及ぼす雰囲気中の酸素の影響を明らかにした。
1 7×7構造形成過程の過渡現象
パルスレーザーアニールにより一旦無秩序化された表面原子の7×7自己組織過程をRHEEDでその場観察することに成功した。
レーザー照射後、7×7の周期性を表すRHEEDの1/7次超格子反射スポットの強度は、基底の温度に依存した速度で増大した。また、このスポットの強度の経時変化の再現性は極めて良かった。
この現象を実空間で捉えるため、同じ条件の表面をSTMを用いた観察を行った。その結果、表面の可干渉領域内に無数の7×7ドメインが核形成し、成長することがわかった。更に、成長の進行とともにコアレッセンスが起こり、位相不整合境界が減少していくことがわかった。この結果から、RHEEDの回折強度の変化は必ずしも7×7領域の面積変化と一対一の対応関係にはないが、7×7領域の変化の定性的な傾向を反映していることが確認された。
2 7×7構造形成過程に及ぼす雰囲気中の酸素の影響
ベース真空度が2×10^<-12>Torrの超高真空雰囲気に純度99.99%以上の酸素を導入し、レーザー照射後の7×7構造の成長過程がどのような影響をうけるかを調査した。RHEEDの観察により、500℃の基板では、酸素分圧を5×10^<-10>Torr以上にすると成長が減速することがわかった。
この成長の減速の原因を確かめるために、7×7構造と7×7に未配列の″1×1″構造が共存する急冷表面に酸素を導入しながら、STMによりその場観察を行った。その結果、酸素が7×7構造よりも″1×1″構造領域と優先的に反応することがわかった。
以上の実験結果から、″1×1″領域が酸素と反応し、7×7構造への相転移が妨げられるため、成長が減速したことがわかった。

Research Products

• [Publications] T. Matsukawa, et al.: "Three-dimensinal site dependence of single-ion-induced charge collection at a p-n junction-role of funneling and diffusion processes under differention energy" Journal of Applied Physics. (to be published).
• [Publications] T. Matsukawa, et al.: "Key technologies of FIB system for single ion implantation" Journal of Vacuum Science and Technology B. (to be published).
• [Publications] M. Koh, et al.: "Quantitative characterization of Si/SiO_2 interface traps induced byenergetic ions by means of single ion microprobe and single ion beam induced charge imaging" Applied Surface Science. 117/118. 171-175 (1997)
• [Publications] M. Koyama, et al.: "Estimation of Spatial Extent of a Defect Cluster in Si Induced by SingleIon Irradiation" Japanese Journal of Applied Physics. 36. L708-710 (1997)
• [Publications] M. Koyama, et al.: "Influence of Near-Surface Defects in Si Induced by Reactive Ion Etching on the Electrical Properties of the Pt/n-Si Interface" Japanese Journal of Applied Physics. 36. 6682-6686 (1997)
• [Publications] T. Watanabe, et al.: "Effects of fixed particles on periodic adatom arrangements on Si(111) unreconstructed surfaces" Applied Surface Science. (to be published).
• [Publications] T. Shinada, et al.: "Damage and contamination free fabrication of thin Si wires with highly controlled feature size" Applied Surface Science. 117/118. (1997)
• [Publications] T. Shinada, et al.: "The current status of sigle ion implantation" Journal of Vacuum Science and Technology B. (to be published).
• [Publications] 原 謙一、他: "シングルイオン注入と電気化学反応を用いたウェハ-スケールテクノロジー" 電子情報通信学会信学技報. ED-97-07. 35-40 (1997)
• [Publications] 松川 貴、他: "シングルイオン照射とその応用" 放射線. 23. 25-34 (1997)
• [Publications] T. Matsukawa, et al.: "Development of single-ion implantation-controllability of implanted ion number" Applied Surface Science. 117/118. 677-683 (1997)
• [Publications] K. Shimada, et al.: "Reactivity of O_2 with Si(111) surfaces with different surface structures" Applied Surface Science. (to be published).
• [Publications] T. Ishimaru, et al.: "Role of corner holes in the formation of SF half unit of DAS structures" Applied Surface Science. (to be published).
• [Publications] T. Watanabe, et al.: "Mechanism of H_2 desorption from H-terminated Si(001) surfaces" Applied Surface Science. 117/118. 67-71 (1997)
• [Publications] I. Ohdomari, et al.: "Consideration of atom movement during Si surface reconstruction" Phase Transitions. 62. 245-258 (1997)
• [Publications] T. Watanabe, et al.: "Monte Carlo study on formation of periodic structures on Si(111) surfaces" Surface Science. 389. 375-381 (1997)
• [Publications] T. Hoshino, et al.: "Theoretical Investigation on the formation process of the stacking-fault triangle in the Si(111)-7×7 structure" Surface Science. 394. 119-128 (1997)